《半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA）阀门技术规范》编制说明.pdf

团体标准

《半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚

物（PFA）阀门技术规范》

（征求意见稿）

编制说明

标准编制组

2024年12月

一、工作简况

（一）任务来源

根据2024年11月8日深圳市战略性新兴产业发展促进会发布的《关

于半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)阀门技术规范等两项

团体标准立项的通知》，由科讯工业制造（深圳）有限公司牵头申报的团

体标准《半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)阀门技术规范》

获批立项。

（二）立项目的和意义

PFA材料具有卓越的抗腐蚀性、耐热性、抗粘性，广泛应用于对生产

过程中金属离子析出和洁净度要求较高的半导体、行业。

芯片制造过程中单片/多片的酸洗、涂胶显影环节使用的塑料管材、

接头和阀门对产品的金属离子析出和洁净度要求较高，PFA材料因其优越

的耐腐蚀性和抗粘性，可满足芯片制造过程中对塑料阀门的超低金属离子

析出和超高的洁净度要求。

该标准制定后为半导体制造行业的发展起到至关重要的作用，为产品

质量保驾护航。

（三）起草单位

本标准由科讯工业制造（深圳）有限公司牵头编制。

（四）主要工作过程

1.标准预研阶段

2024年10月24日，科讯工业制造（深圳）有限公司（以下简称“科

讯”）召开标准立项讨论会。会议决定以科讯工业制造（深圳）有限公司

积累多年的阀门研发和生产制造经验为基础，检索对比国内外阀门相关标

准，组建标准编制组，开始进行预研工作。

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2.标准立项阶段

经过前期的讨论和资料检索，基本确定拟立项标准的编制目的、意义、

框架和主要内容等。

2024年11月4日，科讯工业制造（深圳）有限公司向深圳市战略性

新兴产业发展促进会提交了《团体标准立项申请书》。2024年11月8日，

深圳市战略性新兴产业发展促进会发布《关于半导体制造用全氟烷氧基

乙烯基醚共聚物(PFA)阀门技术规范团体标准立项通知》，正式批准《半

导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)阀门技术规范》立项。

3.调研和初稿阶段

标准立项后，编制组进行了新一轮的标准查新，并根据立项任务书的

计划，着手起草初稿，并于2024年12月6日完成标准草案。

编制组对标准草案进行研讨，研讨会后编制组对标准草案进行了修改

和完善，2024年12月30日，形成《半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚

共聚物(PFA)阀门技术规范》（征求意见稿）和编制说明。

二、标准化对象简要情况及制修订标准的原则

（一）标准化对象简要情况

PFA阀门是以PFA为主要材料的隔膜阀，本标准旨在规范用于半导

体制造的PFA隔膜阀的技术规范，包括壁厚及公差、压力、流通能力、耐

腐蚀性等关键技术指标和性能的规定。

（二）制定原则

1.适用性原则。制定本标准的出发点是统一半导体制造用全氟烷氧

基乙烯基醚共聚物(PFA)阀门的技术要求，保证产品质量，实现国产替代。

制定标准过程中，根据产品工艺的成熟与完善、技术发展水平及测试数据

确定技术指标取值范围，力求确保标准的合理性与适用性。

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2.一致性原则。标准应符合现行法律法规、政策、规范性文件的规定，

并与现行阀门相关标准协调一致。

3.规范性原则。标准在结构和编写规则上符合GB/T1.1《标准化工作

导则第1部分