Lot管理方法-注意事项(中文版).ppt

Ｌｏｔ管理方法和注意事項（1）對每個Ｌｏｔ進行刻印刻印的位置由工程部決定（不會影響到尾孔?定位孔的位置）不用分Ｌｏｔ的及單面板不要刻印。刻印只是做Ｌｏｔ的子號碼。單面板時，在Pt印刷後，基板和流程單要一起整理好轉入下制程，後面的工序按照每一個Ｌｏｔ進行加工，一個Ｌｏｔ加工完後加入對應的流程單再轉入下制程。（2）每個工程都要按照Ｌｏｔ進行加工，要記錄作業日報及流程單，每個Ｌｏｔ要加入流程單才能轉入下制程。各工程的注意事項兩面板的加工開料開料後，進行刻印?數量的確認，整理刻印的方向後填寫Ｌｏｔ對應的流程單轉入下制程。鑽孔刻印的方向整理好後進行打PIN，每個Ｌｏｔ加入對應的流程單後轉入下制程。不要將幾個Ｌｏｔ重疊在一起。鑽孔是按照整理的刻印方向一個一個Ｌｏｔ進行加工，１Ｌｏｔ結束後記入流程單?作業日報，加入流程單再轉入下制程。在1次混入兩個Ｌｏｔ進行加工時，固定軸的順序，用粉筆?膠帶等作上記號使Ｌｏｔ之間不得混入。化學銅化學銅前處理是一個Ｌｏｔ一個Lot裝入或者是投入上板機。用改變各Ｌｏｔ的最後一枚基板的方向進行流動來區別Ｌｏｔ的改變。裝入架子，與下一個Ｌｏｔ的混載不用在意，但是一定要按照Ｌｏｔ的順序進行，按照Ｌｏｔ的順序裝入化學銅的架子上，（固定架子的安裝順序，例如從右邊開始。）根據投入架的順序轉入下制程。流程單是從投入最後一枚基板，開始記入作業日報及流程單，再轉入下制程。一銅一銅電解是必需按照化學銅投入架的順序進行裝入。流程單是按照從前工程轉入的順序記入作業日報及流程單，轉入下工程。在一銅電解的檢查工程，根據刻印進行lot區分，整理好每一個Ｌｏｔ的數量，加入流程單轉入下工程。ＤＦＲ壓膜前處理，整理好刻印的方向（壓膜後容易確認的方向）一個Ｌｏｔ一個Ｌｏｔ地裝入或者是投入上板機。另，從投入基板開始，將流程單轉入無塵室內的壓膜作業者。壓膜後，根據刻印區分，整理每一Ｌｏｔ的數量，記入作業日報及流程單，再加入流程單轉入暴光制程。（壓膜後～顯影有必要使用架子）顯影也要整理每個Ｌｏｔ的刻印方向後，裝入或者是投入上板機，改變各Ｌｏｔ的最後基板的方向來區別Ｌｏｔ的改變。流程單從投入的第一枚基板開始，記入作業日報及流程單，轉入接受?裝架子的作業者。接受板?裝架子的作業者，按照每一個Ｌｏｔ進行裝架子，加入流程單轉入下工程，不要Ｌｏｔ混載。二銅二銅每一個Ｌｏｔ（２架）進行安裝（固定安裝的順序例：從右邊開始），流程單是作業日報和流程單記入後按投入的順序重疊。加工後的基板，按每個Ｌｏｔ裝入架子，加入流程單轉入下工程。Ｌｏｔ不要混載。蝕刻，根據每個Ｌｏｔ整理刻印的方向，裝入或者是投入上板機，改變各Ｌｏｔ的最後基板的方向來區別Ｌｏｔ的改變。流程單是從投入第一枚板開始，記入作業日報及流程單，轉入接受板?裝入架子的作業者。接受板?裝架子的作業者，根據每個Ｌｏｔ裝架子添加流程單。Ｌｏｔ不要混載。濕膜濕膜前處理，整理刻印的方向（前處理後容易確認的方向），一個Ｌｏｔ一個Lot裝入或者是投入上板機，改變各Ｌｏｔ最後基板的流動方向來區別Ｌｏｔ的改變。同時，從投入開始流程單轉入無塵室內的接板作業者。接板?裝架子的作業者，根據一個Lot一個Lot裝架子，添加流程單轉入下工程。Ｌｏｔ不要混載。印刷，按每個Ｌｏｔ（２架子）進行，１Ｌｏｔ結束時，記入流程單及作業日報轉入下工程，印刷結束後的基板每個Ｌｏｔ里加入流程單放著。乾燥，按每個Ｌｏｔ進行投入乾燥，從投入乾燥機開始，記入流程單及作業日報，按投入的順序重疊流程單。乾燥結束（冷卻）後Ｌｏｔ和流程單一起整理好轉入下工程。顯影，根據每個Ｌｏｔ整理刻印方向，裝入或者投入上板機，改變各Ｌｏｔ的最後基板的方向進行流動來區別Ｌｏｔ的改變。流程單從投入開始記入作業日報及流程單，轉入接板?裝架子的作業者。接板?裝架子的作業者，根據每個Ｌｏｔ裝入框架，添加流程單轉入下工程。Ｌｏｔ不要混載。字符印刷字符印刷前處理，整理刻印的方向（前處理後容易確認的方向），按每個Ｌｏｔ裝入或者是投入上板機，改變各Ｌｏｔ的最後基板的方向進行流動來區別Ｌｏｔ的改變。同時，從投入開始，流程單轉入接板的作業者。接板?裝架子的作業者，根據每個Ｌｏｔ裝入架子，添加流程單轉入下工程。Ｌｏｔ不要混載。印刷，按每個Ｌｏｔ（２框架）進行，１Ｌｏｔ結束時，記入流程單及作業日報，轉入下工程。印刷後的基板，每個Ｌｏｔ添加流程單，放置。乾燥，按Ｌｏｔ投入乾燥，從放入乾燥機開始，記入流程單及作業日報，按投入的順序重疊流程單。乾燥結束（冷卻）後Ｌｏｔ和流程單整理好轉入下工程。噴錫噴錫前處理，整理刻印的方向（前處理後容易確認方向），按每個Ｌｏｔ裝入或者投入上板機，改變各Ｌｏｔ的最後基板的方向進行流動來區別Ｌ