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硅粉直接氮化的工艺研究.docx

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摘要

氮化硅作为结构陶瓷材料中应用最为广泛的材料之一,因为氮化硅具有优秀的综合力学性,所以受到了各国的高度重视。但是其高居不下的制备工艺费用却成为了制约其大规模推广的重要因素。

本文在分析和讨论国内外有关硅粉氮化的方法的基础上,利用直接氮化法氮化硅粉,以氮化硅粉体的低成本、批量化生产作为研究核心目标,利用SME、XRD和电子天平称重技术,重点研究硅粉粒径、添加剂、稀释剂等对硅粉氮化结果和质量的影响,探索了可行的氮化硅粉体生产工艺。

实验结果表明,随着硅粉粒径的减小,硅粉颗粒的表面能增大了,氮化硅的α相含量也随之增大,并且有效的改善了氮化硅产品的最终粒度分布。在实验加入0.5%的F

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