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;传感器分类（按输入性质分）;半导体材料;测量压力的微机械压力传感器
测量加速度的微机械加速度传感器
测量热学量的传感器
测量磁学量的传感器
测量辐射量的传感器;;Si基材料;III-V族和II-VI族化合物半导体材料;SiC薄膜是一种高工作温度传感器，可用作压力传感器，热敏电阻和气敏器件
金刚石具有高禁带宽度、高电击穿强度、高热导率、高杨氏模量以及高化学稳定性，因此适于高温和恶劣环境作业。
金刚石薄膜生长必须先经过核化处理
金刚石薄膜研究的主要工作：
研究MPCVD金刚石薄膜用作高温压力传感器的压阻特性
研究在Si腔体中选择沉积金刚石薄膜
研究金刚石薄膜热敏电阻的温敏特性
研究在H2气氛下Pd/I-diamond/p*-diamondMIS势垒二极管的C-V和C-V-F（频率）特性。;陶瓷传感器材料;;;高分子传感材料;高分子湿敏材料
高分子气敏材料
生物活性材料
生物酶
基本原理：以酶催化反应为基础
制备工艺：酶的固定、微电子平面工艺和微机械加工技术
其他传感器：酶热敏传感器、酶光纤传感器
传感器应用：临床分析、工业在线检测、环境检测
动植物组织
基本原理：组织传感器是以动植物组织薄片作为生物敏感膜，然后与适当的换能器结合而成的。
传感器应用：临床分析
动植物组织传感器与生物酶传感器比较：
组织中酶的活性比分离提纯酶的活性和稳定性高，因此传感器的灵敏度高、寿命长
动植物组织容易获得，组织传感器制备简单、成本低、易推广
组织中含有多种生物酶，可进行多种物质的测定
由于组织切片厚度一般为，因而响应时间较长;微生物;;基因;光纤材料
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