《集成电路制造工艺与工程应用》第三十八讲.pptxVIP

第三十八讲：晶圆接受测试（WAT）;内容;NW方块电阻Rs

PW方块电阻Rs;NW方块电阻是三端器件，它的三个端口分别是电阻的两端和衬底（Psub），它们分别连到PAD_N1、PAD_N2和PAD_B，WAT测试机器通过这三个端口把电压激励信号加载在电阻的两端和衬底，从而测得所需的电性特性参数数据。;测量NW方块电阻Rs_NW的基本原理是在电阻的一端加载电压DC电压1V，另一端和衬底接地，从而测得电流In，Rs_NW=(1/In)/(L/W)，W和L分别是NW方块电阻的宽度和长度。;影响NW方块电阻的因素包括以下几方面：

NW离子注入异常；

离子注入退火异常；;PW方块电阻是通过DNW隔离衬底（Psub），如果没有DNW的隔离，这个PW方块电阻会与Psub短路。

PW方块电阻是三端器件，它的三个端口分别是电阻的两端和衬底（DNW），它们分别连到PAD_P1、PAD_P2和PAD_B，WAT测试机器通过这三个端口把电压激励信号加载在电阻的两端和衬底，从而测得所需的电性特性参数数据。;测量PW方块电阻Rs_PW的基本原理是在电阻的一端和衬底加载电压DC电压1V，另一端接地，从而测得电流Ip，Rs_PW=(1/Ip)/(L/W)，W和L分别是PW方块电阻的宽度和长度。?;影响PW方块电阻的因素包括以下几方面：

PW离子注入异常；

离子注入退火异常；;谢谢