等离子体参数测试方法 编制说明.docx

《等离子体参数测试方法》

征求意见稿编制说明

（计划号T-491）

《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明

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《等离子体参数测试方法》征求意见稿编制说明

一、工作简况

1.1任务来源

国家标准《等离子体参数测试方法》来源于2024年7月24日国标委发﹝2024﹞32号“国家标准化管理委员会关于下达2024年第五批推荐性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知”，属于国家标准制定，计划号T-491，归口单位为全国光电测量标准化技术委员会（SAC/TC487），项目周期为18个月。

关于项目名称变更的说明：立项之后，标准编写组针对本标准进行了充分论证，并召开了多次专家组会，与会专家一致认为《等离子体参数综合测试方法》中包含的三种光谱测量方法忽略了其一致性，应进行归纳合并，建议将其名称调整为“《等离子体参数测试方法》”。标准起草组于2024年9月26日，通过SAC/TC487秘书处向中国科学院条件保障与财务局提交“关于调整《等离子体参数综合测试方法》项目名称的申请”，详见附件一。该申请于2024年12月30日获得中科院条财局批准文件，详见附件二。

1.2主要参加单位和工作组成员及其所做的工作

2024年7月《等离子体参数测试方法》国家标准的任务下达后，牵头单位中国科学技术大学组织相关单位成立了标准编写组。由中国科学院空天信息创新研究院、安徽中科大禹科技有限公司、云南大学、中国计量大学、中国科学院等离子体物理研究所、核工业西南物理研究院、池州学院和中国科学技术大学先进技术研究院组成。

起草单位及工作分配详见表1，起草人及工作分配详见表2。

表1起草单位及承担工作

序号

起草单位

承担工作

1

中国科学技术大学

主要起草，承担了本标准的主要起草任务。

2

中国科学院空天信息创新研究院

协助起草，负责标准内容的审核和校对。

3

安徽中科大禹科技有限公司

协助起草，从应用角度对标准草案进行校核、完善

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2

4

云南大学

协助起草，从技术角度对标准草案进行校核、完善

5

中国计量大学

协助起草，从技术及应用角度对标准草案进行校核

6

中国科学院等离子体物理研究所

协助起草，负责标准草案中电子参数测量技术内容的审核和完善

7

核工业西南物理研究院

协助起草，负责标准草案中离子参数测量技术内容的审核和完善

8

池州学院

协助起草，负责标准草案中粒子种类参数技术内容的审核和完善

9

中国科学技术大学先进技术研究院

协助起草，从技术角度对标准草案中粒子种类参数技术内容进行校核

表2起草人员及工作分配

序号

起草人

起草单位

承担工作

1

吴征威

中国科学技术大学

负责人，负责制定计划和实施方案

2

王璞

中国科学院空天信息创新研究院

负责标准审核

3

黄永海

安徽中科大禹科技有限公司

负责起草编制说明

4

刘琦

云南大学

负责制定标准起草计划和实施方案

5

欧阳文冲

中国科学技术大学

负责起草和审核标准内容大纲

6

张淑琴

中国计量大学

负责审核标准内容大纲

7

谢锦林

中国科学技术大学

负责标准工作指导

8

刘海庆

中国科学院等离子体物理研究所

负责起草标准电子参数测量专业技术内容

9

聂林

核工业西南物理研究院

负责起草标准离子参数测量专业技术内容

10

张晓世

云南大学

负责起草标准激光专业技术内容

11

张乔枫

中国科学技术大学

负责离子和电子参数试验

3

验证

12

汪新建

池州学院

负责起草粒子种类参数测量专业技术内容

13

周凡

中国科学技术大学先进技术研究院

负责粒子种类参数试验验证

1.3制定背景

等离子体技术在集成电路、微电子、材料改性、生物医疗、环境治理、以及冶炼、喷涂和焊接工艺等行业领域已随处可见，对国民经济具有巨大的影响。等离子体技术在集成电路、聚合物薄膜改性以及微电子行业、的产值分别高达2000亿、1200亿和500亿美元左右，在环境保护领域的应用市场（全球废水排放量已达到4000亿立方米，二氧化碳等废气排放达到7亿吨左右）占比达到20%以上，并且均逐年稳步上升。此外，根据德国工程师协会技术中心等机构对等离子体行业调研结果，等离子体医学是结合等离子体物理、生命科学和临床的最具创新性和新兴领域之一，未来等离子体的最大增长领域分别应用于医疗技术、生物技术和药学。由此可见，等离子体技术在集成电路、微电子、聚合物薄膜改性、环境保护、医疗等行业的市场是巨大的，高达万亿美元。

然而，目前针对等离子体参数及测量方法均没有提出相关的标准，不同的等离子体测量方法对等离子体参数测量结果存在显著差异。尤其对于目前等离子体技术应用的集成