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摘要
摘要
钙钛矿太阳电池因拥有带隙可调、色彩丰富、高吸光系数等优点在光伏领
域得到广泛的研究,然而稳定性阻碍其商业化进程。目前已有成熟的外部封装
技术解决了钙钛矿太阳电池外部不稳定性的问题,而离子迁移导致内部不稳定
性的现象却未得到解决。原子层沉积(ALD)技术得益于表面自限制反应,沉
积厚度可控且保形均匀的薄膜,在提高钙钛矿太阳电池内部稳定性方面起到至
关重要的作用。但由于ALD前驱体源沉积模式不同导致有机源的残留并与
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