位移速度加速度测量.pptVIP

L1产生的磁力线切割M→在被测体M中产生电涡流i，涡流损耗部分能量，使通过L2的磁力线减少，引起L2电势E下降。测量板材厚度低频透射式涡流传感器4.涡流转速计*齿轮齿数传感器与被测体距离不变，裂纹将引起金属的电阻率、磁导率变化，综合引起传感器参数变化。金属材料的表面裂纹电缆传输线热处理裂纹焊缝等5.涡流探伤仪——检查金属表面裂纹、焊接部位的探伤6测量位移*（2）汽轮机主轴的轴向窜动量程：0～30mm分辨率：0.1%（1）液位监控系统水箱旁通阀省煤器电感传感器M调节阀控制器输出锅筒电磁线圈玻璃板液位计传感器浮球离心水泵7.自动连续给水控制装置电容式传感器是以电容器为敏感元件，将被测非电量转化为电容量的变化，进而实现非电量到电量的转换。电容元件非电量电容量变化14.1.2电容式位移测量系统电容式传感器的特点优点：高阻抗，小功率。灵敏度高，具有较高的信噪比和系统稳定性。良好的动态特性。结构简单，适应性强。可进行非接触测量。本身发热影响小。缺点：变间隙电容传感器非线性较严重。输出阻抗很高。寄生电容大★应用：可用于位移、压力、厚度、液位、湿度、振动、转速、流量的测量。1920-1925电容传感器用于测量70-80年代，应用广泛集成电容传感器电容式传感器的应用在忽略边缘效应时，平板电容器的电容为—电容量；—两平行极板间的距离；—介质的相对介电常数；—真空的介电常数，=8.85×10-12F/m；A—极板面积。电容式传感器的工作原理在进行非电量电测时，可把力、加速度、位移及转速等力学量转换成d、A或的变化，从而转换成电容量的变化。1)边缘效应产生的原因：电场均匀分布于两极板所围成的空间;2)后果：边缘效应相当于传感器并联一个电容,引起传感器灵敏度下降和非线性增加。3)消除边缘效应的方法：应增大初始电容量，即可适当增大极板面积、减小极板间距。也可采用等位环的方法边缘效应：结构类型电容式传感器分为三个类型，即变极距（d）型、变面积（A）型和变介电常数（ε）型。电容式传感器的结构类型及主要特性1、基本工作原理C——电容量，单位：F法拉——真空介电常数，8.85×10-12F/m——极板间介质的相对介电常数A——极板的有效面积（m2）——两平行极板间的距离（m）平板电容器x固定极板可动极板?x输出?C0x0?x?CdC图中一个电极板固定不动，称为固定极板，另一极板可左右移动，引起极板间距离x相应变化，从而引起电容量的变化。因此，只要测出电容变化量ΔC，便可测得极板间距的变化量，即动极板的位移量Δx。变极距式电容传感器改成差动式，不仅非线性误差大大减少，灵敏度也可提高了一倍。2.变极距式电容传感器3.变面积式电容传感器*由两个电极板构成，一个固定极板，一个为可动极板，两极板均呈半圆形。假定极板间的电介质不变，当两极板完全正对时，其电容量C0为电容式位移传感器的位移测量范围为1μm～10mm之间，变极距式电容传感器的测量精度约为2%，变面积式电容传感器的分辨率可达0.3μm。当可动极板绕轴转动一个?角时，两极板的对应面积要减少ΔA。则传感器的电容量就要减少ΔC，将电容量的变化检测出来，可实现角位移的测量。变面积式电容传感器?固定极板可动电极电容式传感器桥式电路单臂接法UscCxC1C2C3Usr差动接法UscC0+ΔCC0—ΔCUsr4.电容式传感器的测量电路测量电路将电容量转换成电压、电流或频率信号。常用的测量电路有。（1）桥式电路（2）运算放大器电路变极距型电容传感器的极距变化与电容量成非线性关系，这一缺点使电器传感器的应用受到一定限制，而采用运算放大器电路可得到输出电压与输入位移的线性关系。如图14-15所示，C0为固定电容，Cx为反馈电容且为电容式传感器。根据运算放大器的运算关系，有Cx运算放大器电路C0UsckUsr1.4光电位置敏感器件半导体光电位置敏感器件（positionSensitiveDetector简称PSD）是一种对其感光面上入射光点位置敏感的光电器件，即当入射光点落在器件感光面的不同位置时，将对应输出不同的电信号，通过对此输出电信号的处理，即可确定入射光点在器件感光面上的位置。PSD可分为一维和二维PSD。*线阵光位置传感器面阵光位置传感器二维面阵光位置传感