《微电子工艺》第1章绪论.pptx

;TextbookandReferences;课程考核

出勤：10％

作业：20％

形成性考试：20%

期末考试：50%

致谢

承蒙参考书目、论文、网站为课件提供支持

声明

此课件仅用于课堂教学，不用于各种商业用途;目标(Objectives);;概念介绍

半导体产业：

与半导体器件的设计和制造相关的产业。

集成电路(IntegratedCircuit，IC)

集成在一块半导体材料上的功能电路。

半导体产业≈集成电路产业 ;1.1产业的地位及重要性

以半导体产业为核心的电子信息产业是全球第一大产业，占全球GDP的10%。

半导体产业：3000亿美元

电子整机业务：12000亿美元

电子信息服务业：50000亿美元

战略产业，衡量一个国家综合国力的重要标志;1.2半导体产业的特点

投资大风险高

更新换代快

产品的性价比越来越高

2007年的数据：

投资建线费用：8英寸10亿美元；12英寸15亿美元

运转费用：8英寸线：100万元/天;IC一次流片的费用：;1.3集成电路产业结构及分工

集成电路产业是以IC设计业、IC芯片制造业、IC封

装测试业等三业为主的产业链结构。

;IDM(IntegratedDeviceManufacturer)模式

同一家公司完成所有流程

Fabless+Foundry模式

IC设计公司(Fabless)：负责设计和市场。

IC代工厂(Foundry)：负责芯片制造。

IC封装测试公司：负责封装测试。;2013年半导体企业排名(Foundry除外);Rank;排序;2014F半导体企业排名;Rank;1.4我国集成电路产业发展情况

中国半导体市场规模：2013年9166.3亿元—全球第一大半导体市场(48%)。

集成电路设计业

1986年我国第一家专业设计公司成立

IC设计单位近500家，设计业人员超过5万人;排名;11深圳中兴微电子技术有限公司(2.10)?；12?北京中电华大电子设计有限责任公司(1.71)；13敦泰科技有限公司(1.63)；14谱瑞科技股份有限公司(1.41)；15深圳汇顶科技股份有限公司(1.25)；16上海复旦微电子集团股份有限公司(1.20)；17澜起科技（上海）有限公司(1.11)；18同方国芯电子股份有限公司(1.10)；19深圳比亚迪微电子有限公司(1.05)；20上海华虹集成电路有限公司(1.01)；

21北京兆易创新科技有限公司(1.00)；22昂宝电子（上海）有限公司(0.90)；23矽力杰半导体(0.85)；24晶晨半导体(0.80)；25?国民技术股份有限公司(0.71)；26北京思比科微电子技术股份有限公司(0.70)；27珠海炬力集成电路设计有限公司(0.69)；28?中星微电子有限公司(0.64)；29硅谷数模半导体有限公司(0.60)；30唯捷创芯电子技术有限公司(0.57);集成电路芯片制造业

20世纪90年代我国先后建成第一条6英寸和8英寸IC生产线(分别是908工程无锡华晶项目和909工程上海华虹NEC项目)

2007年国内已经有集成电路芯片制造企业近50家，拥有各类集成电路芯片生产线50条;国内主要集成电路芯片制造企业：

上海华虹NEC

中芯国际(上海、北京、成都)

上海先进

上海宏力

上海贝岭

台积电(上海、深圳)

无锡海力士意法

苏州和舰

常州柏玛

无锡华润上华

摩托罗拉(天津);集成电路封装测试业

国内主要封装测试企业：江苏长电、天水华天科技、南通富士通、Intel、Infineon、Samsung、Fairchild等

IC封装测试企业超过70家，2007年国内集成电路总封装能力超过500亿块

;1.5半导体技术历程;真空管时代(20世纪40年代前)

;固体晶体管时代(20世纪50年代后)

1947年发明固体晶体管(肖克莱、巴丁、布拉顿)

1957年第一个硅平面晶体管诞生

1959年发明硅基集成电路(诺伊思、基尔比)

与真空管比，固体晶体管的优点：

无真空

体积小

重量轻

功耗低

可靠性高;1947在贝尔实验室发明的固体晶体管

;固体晶体管的发明者;晶体管的重要性起初不被理解。贝尔实验室名誉总裁IanM.Ross在一篇IEEE文章中写道晶体管的发明“使我们的社会发生了伟大变革，这场变革的深远意义不亚于钢铁的发现、蒸汽机的发明以及英国工业革命。”;晶体管之父——W.Shockley;肖克利在英国伦敦出生，父母是美国人。他在加利福尼亚州长大并于1932年本科毕业于加州理工学院。1936年他获得了麻省理工