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SiC外延片的化学机械清洗方法

一、引言

碳化硅（SiC）作为一种高性能的半导体材料，因其卓越的物理和化学性质，在

电力电子、微波器件、高温传感器等领域展现出巨大的应用潜力。然而，在

SiC外延片的制造过程中，表面污染物的存在会严重影响外延片的质量和性

能。因此，采用高效的化学机械清洗方法，以彻底去除SiC外延片表面的污染

物，成为保证外延片质量的关键步骤。本文将详细介绍SiC外延片的化学机械

清洗方法，包括清洗步骤、所用化学试剂及工具、以及该方法在SiC外延片制

造中的应用优势。

二、清洗步骤

SiC外延片的化学机械清洗方法主要包括以下几个步骤：

初步固定与旋转

将SiC外延片放置在专用的基座上，并通过基座实现旋转。旋转有助于均匀分

布清洗液，提高清洗效率。

化学抛光清洗

采用毛刷作为抛光刷，抛光刷自转并沿着晶片半径方向往复移动，对晶片的表

面进行化学抛光清洗。在这一步骤中，抛光液通过抛光刷喷洒在晶片的表面。

抛光液通常包含能够去除表面污染物的化学试剂，如去离子水、抛光剂和其他

添加剂。

去离子水清洗

在完成化学抛光清洗后，提起抛光刷，放下清洗刷。清洗刷同样自转并沿着晶

片半径方向往复移动，对晶片的表面进行清洗。在这一步骤中，去离子水通过

清洗刷喷洒在晶片的表面，以去除残留的抛光液和污染物。

去离子水冲洗

提起清洗刷后，用去离子水对晶片表面进行冲洗，以进一步去除残留的化学物

质和松动的污染物。

热氮气吹扫干燥

最后，用热氮气吹扫旋转的晶片表面，以干燥晶片。热氮气能够快速带走晶片

表面的水分，防止水渍和二次污染的产生。

三、所用化学试剂及工具

SiC外延片的化学机械清洗方法所用的主要化学试剂包括抛光液、去离子水和

热氮气。抛光液通常包含抛光剂、去离子水和其他添加剂，用于去除晶片表面

的污染物。去离子水用于清洗和冲洗晶片表面，去除残留的化学物质和污染

物。热氮气用于干燥晶片表面，防止水渍和二次污染的产生。

在工具方面，主要使用毛刷作为抛光刷和清洗刷，以及专用的基座和旋转装

置。毛刷具有柔软且耐磨的特性，能够均匀分布清洗液，并对晶片表面进行细

致的清洗。基座和旋转装置则用于固定和旋转晶片，提高清洗效率。

四、应用优势

SiC外延片的化学机械清洗方法具有以下应用优势：

高效去除污染物

该方法通过化学抛光清洗和去离子水清洗相结合的方式，能够高效去除晶片表

面的各种污染物，包括尘埃颗粒、有机物残留薄膜和金属离子等。

提高表面质量

化学机械清洗方法不仅能够去除污染物，还能够对晶片表面进行一定的修饰，

提高表面粗糙度和去除表面应力，从而改善外延层的生长质量和器件的性能。

适用于大规模生产

该方法具有自动化程度高、清洗效率高等特点，适用于大规模生产中的SiC外

延片清洗。通过优化清洗参数和工艺条件，可以进一步提高清洗效率和质量稳

定性。

环保节能

化学机械清洗方法所使用的化学试剂和工具均符合环保要求，且清洗过程中产

生的废液和废气可以通过适当的处理进行回收利用或安全排放。同时，该方法

具有较低的能耗和较高的资源利用率。

五、结论

综上所述，SiC外延片的化学机械清洗方法是一种高效、可靠且环保的清洗技

术。通过优化清洗步骤、选用合适的化学试剂和工具以及控制清洗参数和工艺

条件，可以彻底去除SiC外延片表面的污染物，提高外延片的质量和性能。随

着半导体技术的不断进步和应用领域的拓展，SiC外延片的化学机械清洗方法

将在半导体制造业中发挥越来越重要的作用。

六、高通量晶圆测厚系统

高通量晶圆测厚系统以光学相干层析成像原理，可解决晶圆/晶片厚度TTV（Total

ThicknessVariation，总厚度偏差）、BOW（弯曲度）、WARP（翘曲度），TIR

（TotalIndicatedReading总指示读数，STIR（SiteTotalIndicatedReading局

部总指示读数），LTV（LocalThicknessVariation局部厚度偏差）等这类技术指标。

高通量晶圆测厚系统，全新采用的第三代可调谐扫频激光技术，相比传统上下双探头

对射扫描方式；可一次性测量所有平面度及厚度参数。

灵活适用更复杂的材料，从轻掺到重掺P型硅(P++)，碳化硅，蓝宝石，玻璃，铌

酸锂等晶圆材料。

重掺型硅（强吸收晶圆的前后表面探测）

粗糙的晶圆表面，（点扫描的第三代扫频激光，相比靠光谱探测方案，不易受到光谱

中相邻单位的串扰噪声影响，因而对测量粗糙表面晶圆）

低反射的碳化硅(SiC)和铌酸锂(LiNbO3)（通过对偏振效应的补偿，加强对低反射晶圆