电子器件 技术文件COMSOL_MEMS模块_44.pptx

COMSOLMultiphysics

MEMS仿真;在一个统一的环境中可以使用所有的建模步骤，模型树（显示在左侧）可以快捷和方便地使用这些设定：;COMSOLV4.4产品库;COMSOLV4.4产品库;;;注意可能会讨论其他模块中的相关功能——如果需要使用到其他模块，会额外备注。;;包含全套结构力学边界条件：自由，固定，边界载荷，从动载荷，高级周期性边界条件，薄弹性层，辊支承，弹簧基，等等。薄膜阻尼特征可以用来方便地引入复杂的阻尼模型。;机电：结构力学特征;机电：电气特征;位移;机电：求解类型;机电：应用;结构力学;电流

三维，面内和轴对称

金属和其他导电固体

导电液体

增强的边界