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集成电路设计与制造技术作业指导书
TOC\o1-2\h\u9001第1章集成电路设计基础 3
183901.1集成电路概述 3
40861.1.1集成电路的定义与分类 3
35371.1.2集成电路的发展历程 3
264901.2集成电路设计流程 4
79381.2.1设计需求分析 4
123691.2.2设计方案制定 4
11171.2.3电路设计与仿真 4
85131.2.4布局与布线 4
114341.2.5版图绘制与验证 4
73321.2.6生产与测试 4
114611.3设计规范与工艺限制 4
225681.3.1设计规范 4
38071.3.2工艺限制 4
7050第2章基本晶体管与MOSFET理论 5
42962.1双极型晶体管 5
56902.1.1结构与工作原理 5
290702.1.2基本特性 5
28242.1.3基本应用 5
125212.2MOSFET晶体管 5
190162.2.1结构与工作原理 5
305512.2.2基本特性 5
302272.2.3基本应用 5
214632.3晶体管的小信号模型 5
106362.3.1BJT小信号模型 6
93712.3.2MOSFET小信号模型 6
90432.3.3小信号模型的应用 6
27181第3章数字集成电路设计 6
216453.1逻辑门设计 6
2153.1.1基本逻辑门 6
2953.1.2复合逻辑门 6
231313.1.3传输门 6
172183.2组合逻辑电路设计 6
251373.2.1组合逻辑电路概述 6
48413.2.2编码器与译码器 6
186603.2.3多路选择器与多路分配器 6
154823.2.4算术逻辑单元(ALU) 7
59693.3时序逻辑电路设计 7
172673.3.1时序逻辑电路概述 7
124913.3.2触发器 7
236763.3.3计数器 7
254583.3.4寄存器 7
166103.3.5数字时钟管理电路 7
24647第4章集成电路模拟设计 7
283944.1放大器设计 7
1854.1.1放大器原理 7
178184.1.2放大器电路拓扑 7
117104.1.3放大器设计方法 8
81714.1.4放大器设计实例 8
73654.2滤波器设计 8
293224.2.1滤波器原理 8
309614.2.2滤波器电路拓扑 8
185684.2.3滤波器设计方法 8
9034.2.4滤波器设计实例 8
78574.3模拟集成电路设计实例 8
195734.3.1集成运算放大器设计 8
231274.3.2集成电压比较器设计 8
277324.3.3集成模拟开关设计 8
163524.3.4集成模拟信号处理电路设计 8
13154第5章集成电路制造工艺 9
118635.1制造工艺概述 9
74805.2光刻工艺 9
206745.3蚀刻工艺与清洗技术 9
5967第6章硅衬底制备技术 10
151326.1硅材料的制备 10
226706.1.1硅的提取与净化 10
225556.1.2高纯硅的制备 10
149736.2外延生长技术 10
302526.2.1外延生长原理 10
186376.2.2外延生长设备与工艺 10
300296.2.3外延生长硅衬底的应用 10
87866.3硅片加工技术 10
257686.3.1硅片切割技术 10
242296.3.2硅片研磨与抛光技术 10
56646.3.3硅片清洗与检验 10
15456.3.4硅片加工技术的发展趋势 11
7983第7章集成电路中的互连技术 11
218357.1金属互连 11
147867.1.1金属互连的基本原理 11
55457.1.2金属互连的制备工艺 11
197117.1.3金属互连的功能评价 11
207537.2多层互连技术 11
258697.2.1多层互连的原理与结构 11
115717.2.2多层互连的制备工艺 11
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