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化学产物_振动方向_水对蓝宝石抛光影响的分子动力学研究.pdf

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    摘要

    摘要

    蓝宝石应用的拓展和深入，对其加工后的表面和亚表面质量提出了更高的

    要求。传统的蓝宝石表面平坦化技术(化学机械抛光，CMP)加工效率有待提高，

    迫切需要一种新型高效高质量的蓝宝石加工方法。为此，蓝宝石超声辅助化学机

    械抛光(UV-CMP)工艺和技术被提出，成为提高蓝宝石抛光效率和质量的有效手

    段。然而，超声对于蓝宝石化学机械抛光的作用机理有待明晰，现有的测试技术

    如透射电镜(TEM)只能对抛光后工件亚表面损伤进行观测，抛

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