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电子工业洁净厂房设计规范[附条文说明]GB50472-2008
1总则
1.0.1为在电子工业洁净厂房设计中,做到技术先进、经
济适用、安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量,并符合劳
动卫生和环境保护的要求,制定本规范。
1.0.2本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业洁净厂
房设计。
1.0.3电子工业洁净厂房的设计应满足需洁净环境的电子
产品生产工艺要求,并应根据具体情况为今后产品生产发展或生
产工艺改进的需要预留条件。
1.0.4电子工业洁净厂房的设计应为施工安装、调试检测
和安全运行、维护管理创造必要的条件。
1.0.5电子工业洁净厂房设计除应执行本规范外,尚应符
合国家现行有关标准的规定。
2术语
2.0.1洁净室cleanroom
空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内
诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力
等按要求进行控制。
2.0.2洁净区cleanzone
空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少
空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其他有关参数如温度、湿
度、压力等按要求进行控制。可以是开放式或封闭式。
2.0.3人员净化用室roomforcleaninghumanbody
人员在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。
2.0.4物料净化用室roomforcleaningmaterial
物料在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。
2.0.5粒径particalsize
由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体
直径。对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。
2.0.6悬浮粒子airborneparticles
用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1~5
μm的固体和液体粒子。
2.0.7含尘浓度particleconcentration
单位体积空气中悬浮粒子的颗数。
2.0.8洁净度cleanliness
以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。
2.0.9空态as-built
设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备、材料
及人员。
2.0.10静态at-rest
设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及供应商同意
的状态运行,但无生产人员。
2.0.11动态operational
设施以规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状
况下进行工作。
2.0.12气流流型airpattern
室内空气的流动形态和分布。
2.0.13单向流unidirectionalairflow
沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。包括
垂直单向流和水平单向流。
2.0.14非单向流non-unidirectionalairflow
凡不符合单向流定义的气流。
2.0.15混合流mixedairflow
单向流和非单向流组合的气流。
2.0.16洁净工作区cleanworkingarea
指洁净室内离地面高度0.8~1.5m(除工艺特殊要求外)的
区域。
2.0.17空气吹淋室airshower
利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员或物料表面
附着粒子的小室。
2.0.18气闸室airlock
设置在洁净室出入口,阻隔室外或相邻房间的污染气流和压
差控制而设置的缓冲间。
2.0.19传递窗passbox
在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧窗扇
的开启应进行联锁控制。
2.0.20洁净工作服cleanworkinggarment
为把工作人员产生的粒子限制在最低程度所使用的发尘量
少的洁净服装。
2.0.21高效空气过滤器(HEPA)highefficiency
particulateairfilter
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