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一、工作简况
1、任务来源
根据2020年全国标准化工作要点,大力推动实施标准化
战略,持续深化标准化工作改革,加强标准体系建设,提升
引领高质量发展的能力。依据《中华人民标准化法》,以及
《团体标准管理规定(试行)》相关规定,全国城市工业品
贸易中心联合会决定立项并联合相关单位共同制定《半导体
设备零部件阳极氧化工艺规范》团体标准。于2022年12
月30日,全国城市工业品贸易中心联合会发布《半导体设
备零部件阳极氧化工艺规范》团体标准立项通知,正式立项。
2、起草工作组信息
本文件由全国城市工业品贸易中心联合会提出并归口。
本文件起草单位:帝京半导体科技(苏州)有限公司。
本文件主要起草人:XXX、XXX、XXX。
3、标准编制过程(起草阶段)
根据任务要求,于2022年12月组织开展起草工作,成
立《半导体设备零部件阳极氧化工艺规范》团体标准起草工
作组。起草组在资料整理和企业调研的基础上,确定安全规
范指标体系,并依据企业现状确定指标参数,进行标准主要技
术内容的编写。标准起草工作组成员认真学习了GB/T1.1
等文件,结合标准制定工作程序的各个环节,进行了探讨和研
究,并在现有标准化文件和科研成果等相关资料进行收集整
理的基础上,收集、整理国内外相关技术资料,对比国内相关
产品标准,确定工作思路和重点关注问题。同时,起草工作
组制定了标准编制工作计划、编写大纲,明确任务分工及各
阶段进度时间。
标准起草工作组经过技术调研、咨询,收集、消化有关
资料,于2023年01月28日编写完成了团体标准《半导体设
备零部件阳极氧化工艺规范》草案。随后,经研究讨论,形
成征求意见稿,公开征求意见。
二、编制原则和主要内容
1、编制原则
在标准制定过程中,标准起草工作组按照GB/T1.1-2020
给出的规则编写,主要遵循以下原则:
(1)协调性:保证标准与本标委会的标准体系协调一致,与
国内现行相关标准协调一致,与国内现行国家标准、
行业标准协调一致。
(2)适用性:结合产品生产企业管理实践和产品的主要环
境影响,提出对企业产品的具体指标要求。
2、主要内容及说明
本标准规定了半导体设备零部件阳极氧化工艺规范的术语
定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮
存。
本标准适用于半导体设备零部件阳极氧化工艺规范的生产
和设计。
三、标准中如果涉及专利,应有明确的知识产权说明
本文件不涉及专利及知识产权问题。
四、采用国际标准和国外先进标准的情况,与国际、国内同
类标准水平的对比情况
本文件主要参考了以下标准或文件:
GB/T7999-2015铝及铝合金光电直读发射光谱分析方法
GB/T8170-2008数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T9056金属直尺
GB/T22095-2008铸铁平台
GB/T22523塞尺
CY/T144-2015网版印刷感光胶使用性能要求及检验方
法
QB/T1474.5绘图仪尺量角器
DB44T1207-2013磁性和电涡流覆层厚度测量仪
JJF1318影像测量仪校准规范
JJF1465-2014丝网张力计校准规范
MIL-STD-105E抽样计划
五、与有关的现行法律、法规和强制性国家标准的关系
本文件与相关法律、法规、规章及相关标准协调一致,
没有冲突。
六、重大分歧意见的处理经过和依据
无。
七、贯彻标准的要求和措施建议
标准发布后,应向相关企业进行宣传、贯彻,推荐此标
准。
八、其他应予说明的事项
无。
团体标准起草工作组
2022年12月19日
团体标准
《半导体设备零部件阳极氧化工艺规范》
(征求意见稿)编制说明
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