CVD合成金刚石的半成品表面处理操作方法.docxVIP

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T/QGCMLXXXX—2022

CVD合成金刚石的半成品表面处理操作方法

1范围

本文件规定了CVD合成金刚石的半成品表面处理操作方法的术语和定义、一般要求、操作要求、操作步骤、合格判定。

本文件适用于CVD合成金刚石半成品的表面处理。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB17120锻压机械安全技术条件

GB/T18490.1机械安全激光加工机第1部分：通用安全要求

JC/T2420-2017CVD金刚石磨粒、笔条

3术语和定义

JC/T2420-2017界定的术语和定义适用于本文件。

4一般要求

4.1操作人员要求

a)操作过程要佩戴口罩；

b)严禁直视激光，设备运行时严禁打开保护罩；

c)合理使用劳保用品，不准戴手套，袖口扎紧，女工头发挽入帽内；

d)开机前认真检查设备周围环境，确认安全后方可启机。

4.2设备要求

操作设备符合GB17120和GB/T18490.1的要求。

5操作要求

5.1步骤

a)将生长炉中出来的半成品毛坯利用激光切割机将四周多晶切除干净；

b)测量样品表面最低点，利用激光切割机将半成品表面切平；

c)四边切15°倒角；

d)将半成品表面用酒精擦拭干净；

e)用研磨设备将切割后的半成品表面打磨抛光至符合生长要求。

5.2切割

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a)设备使用前要对设备状态进行确认，打点、划线以及焦点等需能正常使用；b)检查固定夹具的螺栓需已紧固好，夹具需固定牢固；

c)粘半成品时需保证面和固定棒表面平行；

d)调节好气体状态，需保证气体无水、油等杂质；

e)半成品切割完成后必须对加工完的半成品厚度、规格，用卡尺进行测量；

f)半成品切片前必须使用“U”型卡固定；

g)如半成品需多次切片，应考虑到激光上下刀口宽度，必须要将半成品保留较厚的面向上进行切割，以保证最后保留部分误差不超过0.05mm。

6操作步骤

6.1切片

6.1.1点击“工具”，再选“主菜单”点击，在出现的对话框中选择“单边”进入切片界面；通过电脑显示屏幕找到被切割的物体，在机器上将其摆正，然后固定好。

6.1.2点击“新建”创建新建任务。

6.1.3根据切割要求，通过电脑显示找到被切物体的切刀处。

6.1.4寻找焦点：在“任务”前“□”点一下，使其打上“√”，“移动幅度”选100，上下移动镜头找到物体最高、最清晰点，按键盘上的“回车”保存。

6.1.5寻找开始切割位置：前后移动物体找，此位置离物体约1mm,找到后按键盘上的“回车”保存。

6.1.6寻找结束切割位置：前后移动物体找，此位置离物体约1mm,找到后按键盘上的“回车”保存。

6.1.7在界面左边“厚度”后的方框中输入被切物的厚度。

6.1.8点击“保存任务”，完成切割设置，此时将出现任务2，若有此任务则继续设置，若无此任务则点击“停止”停止任务2设置。

6.1.9点击“吹气”对好气。

6.1.10点击“运行”，开始进行切片。

6.2切边

6.2.1点击“工具”，再选“主菜单”点击，在出现的对话框中选择“形状”进入切边界面；

6.2.2通过电脑显示屏幕找到被切割的物体，在机器上将其摆正、放平，然后固定好；（以电脑屏幕上的红线为准靠物体一边对齐）点击“新建”新建一个任务1。

6.2.3找焦点：在“工作”前“□”点一下，使其打上“√”，“移动幅度”选100，上下移动镜头找到物体清晰度，找完之后镜头不可再上下移动。

6.2.4找物体的中心点：找到中心点后，在右下角“图形”对话框中的“尺寸”中输物体在X、Y轴方向的长度，点击“应用”查看设置是否正确，正确后点击“记录中心点”和“记录顶点”对X、Y轴进行保存。

6.2.5在界面左边“厚度”后的方框中输入被切物的厚度。

6.2.6在界面左边“速度”后的方框中输入被切物的速度（此速度要选择合适，不能大于20）。

6.2.7点击“保存任务”，完成对任务1切割设置完成，此时将出现任务2，若有此任务则继续设置，若无此任务则点击“停止”停止任务2。

6.2.8在右下角“试运行”前“□”点一下，使其打上“√”，点击选择任务1，点击“运行”,在无激光下试运行切边。

6.2.9若试运行切边正确，将“试运行”前“□”中的“