2025年[专题]硅烷系统安全规范.pdfVIP

老当益壮，宁移白首之心；穷且益坚，不坠青云之志。——唐·王勃

硅烷系统

一、硅烷的性质

硅烷在常温常压下为具有恶臭的无色气体。在室温下着火，在空气或卤素气体中

发生爆炸性燃烧。即使用其它气体稀释，如果浓度不够低．仍能自燃。硅烷在氩

气中含2%、氮气中含2.5%、氢气中含1%时，它仍能着火。硅烷浓度在小于1%

时不燃，大于3%时自燃，1%～3%时可能燃烧。

毒性：硅烷的主要危险来自它接触空气可以自发燃烧的能力和它的毒物学的性

质。接触硅烷会导致眼睛的刺激。吸入会导致头痛、恶心、黏膜和呼吸道的刺激。

尽管据报道硅烷有讨厌的气味，不能把它作为危险浓度的气体存在的警告性信

号。在职业环境里暴露于硅烷的阈值极限的8小时时间权重平均值(TLV-TWA)为5

ppm，这已经被美国政府工业卫生学者会议(ACGIH)所确定，并被美国职业安全

和健康管理局（OSHA）所采用。四小时吸入Lclo(鼠)为9600ppm已经被确定。

硅烷燃烧生成可以导致呼吸道刺激的氧化硅。

可燃性：硅烷是自燃压缩气体。这意味着它在空气中自己点燃。硅烷的泄露会导

致起火或可能在空气中生成爆炸性混合物。一些非常少量的泄露不会发出可见的

火焰，但可以通过在泄[wiki]露点[/wiki]氧化物的积累来发现。有时候由于氧化

物的积累（褐色或白色粉末），这种大小的泄露会自己堵住。燃烧的主要副产品

是二氧化硅（沙）。大火会产生二氧化硅的浓烟。用水雾可以消灭浓烟，但一定

要注意不要熄灭任何的硅烷起火。只能通过切断流向火焰的硅烷来灭火。如果在

硅烷气流被切断之前熄灭了硅烷起火，硅烷会聚集起来，导致爆炸。硅烷的可燃

极限是非常与众不同的，稀释剂会扩大可燃范围，而不是缩小范围。列出的可燃

极限的下限是2%，但试验显示，当引入不同的稀释剂时可燃范围远远低于这个

浓度。周围环境的空气温度和湿度也对可燃极限有影响。一些文献指出硅烷燃烧

时是凉“”火焰。同上面一样，不能完全相信这种观点。试验显示，硅烷燃烧的火

焰或者不能点燃纸张，或者其强度可以熔化象黄铜和铝一样的金属。AirProducts

推荐把所有的硅烷混合物视作易燃物。

二、硅烷气体气瓶颜色标记规范

瓶色：银灰色字样：液化甲硅烷字色：大红色

三、硅烷的运输及储存

1、充装硅烷的气瓶可以是碳钢、不锈钢、和铝合金瓶，符合相应气瓶标准的规

定。

2、气瓶瓶阀以不锈钢为材料，反螺膜片式气瓶阀。禁止以QF-2型、PX-32型和

饭疏食，饮水，曲肱而枕之，乐亦在其中矣。不义而富且贵，于我如浮云。——《论语》

QF-30A型瓶阀作为硅烷气瓶瓶阀。

3、硅烷最高充装压力应低于或等于8.5MPa

4、硅烷容器，禁止用于非硅烷气体作业，不得混入其他气体，特别是氧化性气

体。

5、钢瓶应该直立固定储存。储存区域应该是干燥、凉爽和通风良好。要保护钢

瓶，防止极端温度和天气的影响。储存时，阀门保护帽和阀门排气口密封应保持

在适当的位置。储存地应远离人员经常出入的地方和紧急出口。把空钢瓶和满钢

瓶隔离开。作为惯例，至少每周一次用眼睛检查钢瓶是否有泄漏或损坏的任何迹

象。如果需要去掉钢瓶保护帽或阀门排气口密封来做另外的检查，应该由穿戴着

适当的PPE的两人小组来完成。

6、禁止拖拉、旋转或滑动钢瓶。使用设计用于钢瓶移动的合适的手推车。禁止

试图提着钢瓶帽举起钢瓶。使用时一直固定钢瓶。在去掉阀门排气口密封之前，

确保钢瓶阀门关闭。由于排气口密封可能被加压，去掉排气口密封时一定要小心。

使用减压调整器或单独的控制阀来安全地从钢瓶中提取气体。禁止允许钢瓶任何

部分的温度超过