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一、产业概述
(一)功能型湿电子化学品镀层材料的定义与作用
1.定义
功能型湿电子化学品是为了满足电子产品制造中特殊工艺需求,通过复配形
成的电子化学品,广泛应用于半导体先进封装、封装基板及PCB等电子封装领
域。功能型湿电子化学品相对于通用化学品更加注重产品的功能性,技术门槛更
高,难度更大,产品附加值和单位利润更高。
根据其组成成分和应用工艺不同,分为清洗、光刻、显影、蚀刻、去膜、以
及镀层材料等。根据其是否停留在最终产品上,又可分为直接、间接材料。其中
清洗、光刻、显影、蚀刻、去膜、光刻胶是间接材料,靶材、镀层金属层、有机
或无机的钝化层(也称绝缘层)等为直接材料。
功能型湿电子化学品镀层材料是指在电子行业湿法制程中采用电镀、化学镀
等方法对基材进行处理的镀层材料及配套试剂。
2.主要用途
电镀,是一种利用电解原理在金属表面镀上一层金属或合金的过程,它在电
子行业中发挥着至关重要的作用。电镀不仅能增强基底金属的抗腐蚀性,提高硬
度、防止磨耗、提升导电性、光滑性、耐热性,还能改善产品的外观。电镀层可
以是单一金属或合金,常见的电子电镀金属包括铜、镍、金、银、锡等,它们各
自具有不同的特性和应用场景。例如,电镀铜层因其良好的导电性能而被广泛应
用于印刷线路板和电子器件中;电镀镍层则因其良好的耐蚀性和稳定性而被用作
防护和阻挡层;电镀金层则因其极好的化学稳定性和延展性而被应用于电子工业
和微电子技术中。电镀技术在电子行业的应用非常广泛,从芯片的铜互连技术、
封装中的电极凸点电镀技术、引线框架的电镀表面处理,到印制线路板、接插件
的各种功能电镀,电镀技术贯穿了高端电子制造的全部流程。随着技术的发展,
电镀工艺也在不断进步,以满足电子行业对高精度和高性能的需求。
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化镀,也称为化学镀或无电解镀,一种无电解沉积过程,通过化学氧化还原
机制在基体表面沉积金属,常用于印刷电路板、半导体制造等领域。这种技术利
用金属的催化作用,通过可控制的氧化还原反应产生金属的沉积,具有镀层均匀、
针孔小、不需外加电源、能在非导体上沉积和具有某些特殊性能等特点。化镀技
术的核心是镀液的组成及性能,它通常包括金属盐、还原剂、络合剂、pH缓冲
剂、稳定剂、润湿剂和光亮剂等。在化镀过程中,镀件进入化学镀溶液时,由于
镀层金属的催化作用,镀层本身对氧化还原反应的催化作用保证了金属离子的还
原沉积得以在镀件上进行。
(二)主要分类和产品应用
1.电镀液的分类及应用
电镀技术在半导体制造中的应用非常广泛,从晶圆制造到封装测试,再到微
纳器件的制造,都是提升产品性能和可靠性的关键工艺步骤。电镀液中包含的主
盐、导电盐、阳极活性剂、缓冲剂以及多种添加剂(如整平剂、光亮剂、抗针孔
剂等)均对电镀功能有重要影响,这些添加剂可以改善镀层的性能和电镀质量。
每种电镀材料都有其特定的应用和优势,选择合适的电镀材料对于提高半导体器
件的性能至关重要。
电镀液的分类方式常见的有以下两种:
(1)按金属离子分类:电镀液可以根据其所含金属离子的种类进行分类,
如铜电镀液、镍电镀液、锡电镀液、金电镀液等。这些电镀液分别用于沉积相应
的金属层,以满足不同的导电性、耐磨性、抗腐蚀性等性能要求。
(2)按应用工艺分类:电镀液还可以根据其在半导体制造中的特定应用工
艺进行分类,按所属的产业链环节,可分为用于晶圆制造的电镀液、用于封装环
节的电镀液(包括传统封装和先进封装);按照工艺来分,可分为用于实现芯片
表面金属化的制程,例如RDL、UBM等电镀液,以及用于实现芯片内部以及与
载板、转接板之间的互连工艺制程,例如TSV、Bumping等电镀液。
在半导体制造中,电镀技术发挥着至关重要的作用。作为晶圆、封装基板、
PCB之间互连的关键功能性材料,对保障终端产品的电气性能、机械性能、物理
散热、可靠性以及使用寿命等起到至关重要的作用,决定着各类先进制程中I/O
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密度和传输效率这两大核心目标。
在传统封装中,电镀液主要为引线框架电镀锡。在先进封装中,电镀液主要
应用于以下制程:
(1)RDL重布线技术(2D):电镀铜、电镀金。
(2)UBM凸块下金属化技术(2D):电镀铜/镍/金、化学镀/镍/金、化学镀
镍/钯/金。
(3)Bumping
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