TSCS-i线光刻级氟化钙晶体元件.pdf

ICS31.030

CCSL90

团体标准

T/SCSXXXX—XXXX

i线光刻级氟化钙晶体元件

i-linelithographygradecalciumfluoridecrystalcomponents

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

上海市硅酸盐学会发布

T/SCSXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由上海市硅酸盐学会提出。

本文件由上海市硅酸盐学会归口。

本文件起草单位：

本文件主要起草人：

本文件为首次制定。

I

T/SCSXXXX—XXXX

i线光刻级氟化钙晶体元件

1范围

本文件规定了i线光刻级氟化钙晶体元件的术语和定义、技术要求、检测方法、检验规则及包装。

本文件适用于i线光刻级氟化钙晶体元件（以下简称元件）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T903无色光学玻璃国家标准

GB/T7962.5无色光学玻璃测试方法第5部分：应力双折射

GB/T7962.8无色光学玻璃测试方法第8部分：气泡度

GB/T7962.11无色光学玻璃测试方法第11部分：可见折射率精密测试色光学玻璃测试方法

GB/T7962.12无色光学玻璃测试方法第12部分：光谱内透射比

GB/T11293固体激光材料名词术语

GJB9247光学玻璃光学非均匀性检测方法平面干涉多表面法

3术语和定义

GB/T11293界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

i线光刻级氟化钙晶体i-linelithographygradecalciumfluoridecrystals

适用于工作波长为365nm、405nm和435nm光刻机（i、h和g线光刻机）的氟化钙晶体。

折射率refractiveindex

光在真空中的传播速度与光在介质中的传播速度的比值称为介质的相对折射率，简称折射率。

光学均匀性opticalhomogeneity

光学介质内部各点在相同方向上折射率（或介电常数）的一致性程度，折射率变化越小，光学均匀

性越好。

应力双折射birefringenceofstress

固体光学介质由于应力作用而引起的双折射。

晶界crystalboundary

结构相同而取向不同晶粒之间的界面。

透射比（透过率）transmittance

由光学介质出射的光强与同波长的入射光强之比。

内透射比internaltransmittance

通过材料内部终止点与起始点