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QBCNS31058-2022 电子工业用气体 四氟化硅.pdf

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Q/CNS

浙江中宁硅业有限公司企业标准

QB/CNS31058-2022

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电子工业用气体四氟化硅

GasForElectronicIndustry—SiliconTetrafluoride

2022-01-28发布2022-01-28实施

浙江中宁硅业有限公司发布

浙江中宁硅业有限公司QB/CNS31058-2022

前言

本标准2022年1月第一次修订并实施,标准文本按GB/T1.1-2009的规定进行编辑。

本标准由浙江中宁硅业有限公司提出并归口。

本标准起草单位:浙江中宁硅业有限公司。

本标准由浙江中宁硅业有限公司品管部起草。

本标准主要起草人:栗广奉、郑安雄、金英魁、吴前程、吴希湖、孙惠龙、陈超、许胜霞

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本标准首次发行为2020.08.01,本次为第一次修订。

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