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2023年石英玻璃光掩模基片项目风险可行性方案.docx

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    石英玻璃光掩模基片项目风险可行性方案

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    石英玻璃光掩模基片项目风险可行性方案

    目录

    TOC\h\z29960概论 3

    26952一、工艺方案的选择 3

    2492(一)、基本要求 3

    23605(二)、典型工艺技术介绍 4

    1792(三)、石英玻璃光掩模基片项目组成 6

    9968(四)、工艺技术方案的选择 7

    4444(五)、工艺技术方案的设计 9

    12754二、石英玻璃光掩模基片项目建设背景 10

    13812(一)、石英玻璃光掩模基片项目提出背景 10

    10993(二)、石英玻璃光掩模基片项目建设的必要性 11

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