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《WCu基板上氮化铝—氧化铝—莫来石复相陶瓷绝缘膜制备与性能研究》
WCu基板上氮化铝-氧化铝-莫来石复相陶瓷绝缘膜制备与性能研究
一、引言
随着电子科技的快速发展，对于高可靠性和高性能的电子封装材料需求日益增长。WCu基板因其优良的导电性和导热性被广泛应用于这一领域。然而，其表面绝缘性能的改进和提升成为了制约其进一步应用的关键因素。因此，本文研究了在WCu基板上制备氮化铝-氧化铝-莫来石复相陶瓷绝缘膜的制备工艺及其性能。这种复相陶瓷绝缘膜的制备不仅提高了WCu基板的绝缘性能，同时也为其在高温、高湿等恶劣环境下的应用提供了可能。
二、材料与方法
1.材料准备
本研究所用材料主要包括WCu基板
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