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2023年化学气相沉积设备项目可行性研究方案.docx

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    化学气相沉积设备项目可行性研究方案

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    化学气相沉积设备项目可行性研究方案

    目录

    TOC\h\z3309概论 3

    8287一、化学气相沉积设备项目建设单位基本情况 3

    21432(一)、化学气相沉积设备项目建设单位基本情况 3

    11733(二)、化学气相沉积设备项目主管单位基本情况 5

    19320(三)、化学气相沉积设备项目技术协作单位基本情况 7

    5457二、化学气相沉积设备项目选址 8

    7022(一)、化学气相沉积设备项目选址原则 8

    14923(二)、原材料及主要辅助材料供应 9

    30088(三)、交通条件 11

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