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《Cu纳米薄膜的制备及其光电性能研究》

一、引言

随着纳米科技的不断进步，金属纳米材料因其在电子学、光电子学和能源领域的应用前景，而受到了广泛关注。铜（Cu）作为具有独特电导率和热导率的金属，其纳米薄膜的制备与性能研究具有重要意义。本文旨在探讨Cu纳米薄膜的制备方法及其光电性能的研究进展。

二、Cu纳米薄膜的制备方法

1.物理气相沉积法

物理气相沉积法是一种常用的制备金属纳米薄膜的技术。该方法通过在真空环境下加热Cu靶材，利用溅射或蒸发的方式在基底上沉积形成纳米薄膜。

2.化学气相沉积法

化学气相沉积法通过将含Cu的前驱体气体引入反应室，在基底上发生化学反应并沉积成薄膜。这种方法可以制备出

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