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MEMS传感器的技术发展趋势1、开始由毫米、微米器件向更微小、更集成方向发展2、逐渐向非硅工艺与硅基MEMS传感器工艺相兼容的方向发展3、感知检测与信号处理、通信功能一体化已经成为MEMS发展的主方向4、向智能复合多功能MEMS传感器集成5、向标准化集成快速转换MEMS传感器的应用应用领域系统MEMS传感器、器件??汽车安全系统MEMS硅加速计、角速度计、微惯性传感器,位移、位置和压力传感器,微阀,硅陀螺仪发动机和动力控制系统硅压阻、硅电容歧管(绝对)压力传感器,胎压计、MEMS硅胎压监测芯片、ABS硅压力传感器、诊断和健康检测系统压阻型压力传感器、硅微动压力开关??工业过程控制?力学量控制系统(力学、压力、流体、惯性、角度姿态等)硅压阻、硅电容、硅谐振、陶瓷电容、石英压电、溅射薄膜等压力、压差、绝对压力传感器(变送器)、硅微应变计、多轴硅惯性器件环境控制系统(温湿度、气体等)硅材料、多晶硅材料、薄膜等温湿度、气体传感器(变送器)电磁电量控制系统硅电磁电量、霍尔、多晶硅电磁电量(变送器)应用领域系统MEMS传感器、器件?生物医疗临床化验系统生化分析仪用生物传感器(硅微阀、微通道、微喷管)基因分析和遗传诊断系统硅微镜阵列、电泳微器件颅内压力检测系统硅电容式压力传感器微型手术硅微驱动器超声成像系统微型成像探测器(探头)电磁微机电系统MEMS硅微磁泳器件、微电磁膜片钳人工/仿生器官电子鼻、植入式微轴血泵液体测控系统微喷、微管路、微腔室、微阀、微泵、微传感器药物控释系统微泵、微注射管阵列、微阀、微针刀、微传感器、微激励器???航空航天微型惯性导航系统微陀螺仪、微加速度计、压力微传感器空间姿态测定系统微型太阳和地球传感器、磁强计、推进器动力和推进系统微喷嘴、微喷气发动机、微压力传感器、化学传感器、微推进器、阵列、微开头通信和雷达系统RF微开头、微镜、微可变电容器、电导谐振器、微光机电系统控制和监视系统微热管、微散热器、微热控开头、微磁强计、重力梯度监视器微型卫星微马达、微传感器、微处理器、微型火箭、微控制器等信息通讯光纤通信系统光开关、光检测器、光纤耦合器、光调制器、光图像显示器无线通信系统微电感器、微电容器、微开关、微谐振器能源微动力系统微内燃发动机、静电、电磁、超声微电机、微发电机、微涡轮机微电池微燃料电池、微太阳能电池、微锂电池、微核电池智能传感器在工业安全中的应用1、智能传感器在汽车电子系统中的应用汽车超声波智能传感器测距系统自动酒精检测传感器系统智能胎压监测系统智能雨刷系统智能传感器在工业安全中的应用2、在环境监测方面的应用民用气体探测网络家用燃气管网室内环境监控网络火灾报警系统工业领域气体监控网络应用石化工业、电力工业、半导体微电子工业、食品工业、汽车和窑炉工业智能传感器在工业安全中的应用2、在环境监测方面的应用环境检测网络气象部门对于氮的氧化物、硫的氧化物、氢化氢等引起酸雨的气体的检测环保领域对于二氧化碳、甲烷、一氧化二氮、臭氧、氟利昂等温室效应气体的监测网络市政系统对于氨气、硫化氢和其他难闻气体的检测气体传感器在化工、石油、冶金领域应用智能传感器在工业安全中的应用3、在煤炭安全中的应用在煤矿瓦斯安全监测中,应用基于模糊传感技术的智能传感器不仅可以给出瓦斯量测量结果的数值测量值,而且还可以给出测量结构的拟人类语言描述。另外,模糊传感器还可以将领域专家在该测量领域的研究成果与有益经验融入到测量过程,从而减少井下复杂环境中非目标参量对测量结果的干扰,提高瓦斯监测系统的可靠性。智能传感器在工业安全中的应用4、在航空航天、通信领域中的应用在航空航天中的应用监视飞行器各分系统与部件在飞行过程中的工作状态监视飞行器自身的工作状态与相对位置等运动信息,向载人飞行器的测控系统中的故障检测、环境控制逃逸救生、飞船舱外活动与再入登陆等系统提供有用信息在通信领域中的应用如智能手机广泛采用智能图像传感器、指纹别传感器、智能光电传感器、智能加速度传感器。思考题什么是智能传感器?具有哪些特点?简述智能传感器的功能。智能传感器的实现途径有哪些?简述如何利用计算机合成智能传感器的途径。什么是MEMS传感器?举例说明常用的MEMS气体传感器有哪些?试论述不同种类智能传感器在安全生产中的应用。专家系统安全生产智能保障技术
1.专家系统的概述2.专家系统的设计思想、结构与类型3.专家系统相关知识4.金属非金属矿山安全评价专家系统5.成套装置动态风险管理专家系统
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