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计量标准技术报告

计量标准名称

尘埃粒子计数器校准装置

计量标准负责人

李亮远

建标单位名称（公章）

绵阳市计量测试所

填写日期

2014年9月

目录

TOC\o1-3\h\z\u一、建立计量标准的目的 -1-

二、计量标准的工作原理及其组成 -1-

三、计量标准器及主要配套设备 -2-

四、计量标准的主要技术指标 -3-

五、环境条件 -3-

六、计量标准的量值溯源和传递框图 -4-

七、计量标准的重复性试验 -5-

八、计量标准的稳定性考核 -6-

九、检定或校准结果的测量不确定度评定 -7-

十、检定或校准结果的验证 -11-

十一、结论 -12-

十二、附加说明 -12-

1-

四、计量标准的主要技术指标

尘埃粒子计数器校准装置：

测量范围：（(0.1～10)μm

不确定度：0.4μm：U=4.1nm（k=2)；0.5μm：U=4.9nm（k=2)；0.6μm：U=6.3nm（k=2)

五、环境条件

序号

项目

要求

实际情况

结论

1

温度

（20±5）℃

符合规程要求

合格

2

湿度

＜75%RH

符合规程要求

合格

3

实验室

洁净度10000级的净化室或净化区

符合规程要求

合格

六、计量标准的量值溯源和传递框图

上级计量标准

直接测量溯源单位：上海市计量测试技术研究院

直接测量

溯源单位：上海市计量测试技术研究院

计量标准名称及测量范围：

扫描电子显微镜：(20～100000)倍/＜2%

2160线/mm方格光栅：20000倍以下/1.1%

本所计量标准

单位名称

单位名称：绵阳市计量测试所

计量标准名称：聚苯乙烯标准粒子

测量范围：0.4μm、0.5μm、0.6μm

测量不确定度（或最大允许误差或准确度等级）：

0.4μm：U=4.1nm（k=2)；0.5μm：U=4.9nm（k=2)；0.6μm：U=6.3nm（k=2)

直接测量

直接测量

工作计量器具

计量器具名称：

计量器具名称：尘埃粒子计数器

测量范围：(0.1～10)μm

测量不确定度（或最大允许误差或准确度等级）：

粒子浓度重复性≤10%FS

粒径分布误差≤±30%FS

粒子浓度示值误差≤±30%FS

七、计量标准的重复性试验

方法：

由于该检定装置是以有效期内聚苯乙烯标准粒子作为主标准器，具有国家标准物质证书。研制单位在研制过程中，已经对其均匀性和稳定性作过考核，并且，该标物开封后为一次性使用。因此，可不再做重复性试验。

八、计量标准的稳定性考核

方法：

由于该检定装置是以有效期内聚苯乙烯标准粒子作为主标准器，具有国家标准物质证书。研制单位在研制过程中，已经对其均匀性和稳定性作过考核，并且，该标物开封后为一次性使用。因此，可不再做稳定性试验。

九、检定或校准结果的测量不确定度评定

一、概述

依据JJF1190-2008《尘埃粒子计数器校准规范》，对尘埃粒子计数器进行测量。主要测量尘埃粒子计数器的粒子浓度示值误差和粒径分布误差，所以这里对尘埃粒子计数器的粒子浓度示值误差和粒径分布误差的测量不确定度进行评定。

二、各不确定度分量的评定

(一)粒子浓度示值误差测量结果的不确定度评定

1、数学模型

式是：——被校准仪器粒子浓度示值的算术平均值；

——精密粒子计数器测得的粒子浓度平均值，为约定真值；

——引用值，此处即为气溶胶所在洁净度等级的最高粒子浓度值。

2、输入量的标准不确定度评定

2．1输入量的标准不确定度u()

通过连续测量得到测量列，采用A类方法进行评定。校准规范对尘埃粒子计数器测量重复性要求不大于10%FS，可得到标准不确定度：

2．2输入量cs，的标准不确定度u(cs)评定

由精密尘埃粒子计数器测量粒子确定气溶胶粒子浓度时引入的不确定度，由精密尘埃粒子计数器的比对报告给出u(cs)=U/k。以9台尘埃粒子计数器参加比对，则输入量cs的标准不确定度u(cs)为:

3、合成标准不确定度uc的评定

3.1灵敏系数

数学模型

灵敏系数

3.2标准不确定度汇总表

表1粒子浓度示值误差标准不确定度汇总结果

标准不确定度

分量

不确定度来源

标准不确定度/%

ci

vi

u()

被校尘埃粒子计数器的测量重复性

3.2%FS

1/cN

3.2%

50

u(cs)

精密尘埃粒子计数器测量粒子确定气溶胶粒子浓度时引入的不确定度

6.1%FS

-1/cN

6.1%

50

3.3合成标准不确定度的计算

由于以上全部输入量彼此不相关，因此合成的标准不确定度与各输入量的标准不确定度满足下式：

3．4合成