光刻软件：ProLith二次开发_（8）.光刻图形处理技术.docx

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光刻图形处理技术

图形数据的表示与处理

在光刻软件中，图形数据的表示与处理是至关重要的环节。光刻图形通常由多边形、线条和圆形等基本几何形状组成，这些形状需要在不同层次的掩模版上进行精确的表示和处理。本节将详细介绍光刻图形数据的表示方法，以及如何在ProLith中进行图形数据的处理。

1.图形数据的基本表示

在光刻软件中，图形数据通常以矢量格式存储，常见的矢量格式包括GDSII、OASIS等。这些格式通过定义几何形状的顶点坐标来表示图形。ProLith支持多种图形数据输入格式，包括GDSII和OASIS。

1.1GDSII格式

GDSII（GraphicDataSystemII）是一种二进制格式，用于存储集成电路设计的几何图形数据。GDSII文件由多个记录组成，每个记录包含一个类型和一个数据块。常见的记录类型包括：

HEADER:文件的头部信息。

BGNLIB:库的开始。

LIBNAME:库的名称。

UNITS:定义单位，通常是纳米。

BGNSTR:结构的开始。

STRNAME:结构的名称。

BOUNDARY:多边形边界。

PATH:线条路径。

SREF:符号引用。

AREF:阵列引用。

ENDSTR:结构的结束。

ENDLIB:库的结束。

1.2OASIS格式

OASIS（OpenArtworkSystemInterchangeStandard）是由SEMI（半导体设备和材料国际组织）开发的一种更高效的图形数据格式。OASIS文件也由多个记录组成，但与GDSII相比，OASIS文件的大小更小，处理速度更快。常见的记录类型包括：

HEAD:文件头部。

BGNLIB:库的开始。

LIBNAME:库的名称。

UNITS:定义单位。

BGNSTR:结构的开始。

STRNAME:结构的名称。

BOUNDARY:多边形边界。

PATH:线条路径。

SREF:符号引用。

AREF:阵列引用。

ENDSTR:结构的结束。

ENDLIB:库的结束。

2.ProLith中的图形数据处理

ProLith提供了一套强大的图形处理功能，包括图形的导入、导出、编辑和操作。这些功能可以通过内置的图形编辑器或二次开发接口进行访问。

2.1图形数据的导入与导出

在ProLith中，图形数据的导入和导出可以通过图形编辑器或脚本进行。以下是一个使用Python脚本导入GDSII文件并导出为OASIS文件的示例：

#导入ProLith的二次开发接口

importpro_lith

#创建ProLith会话

session=pro_lith.Session()

#导入GDSII文件

gdsii_file_path=example.gdsii

session.import_gdsii(gdsii_file_path)

#导出为OASIS文件

oasis_file_path=example.oasis

session.export_oasis(oasis_file_path)

#关闭会话

session.close()

2.2图形数据的编辑

ProLith提供了多种图形编辑功能，包括图形的移动、缩放、旋转和布尔操作等。以下是一个使用Python脚本进行图形编辑的示例：

#导入ProLith的二次开发接口

importpro_lith

#创建ProLith会话

session=pro_lith.Session()

#导入GDSII文件

gdsii_file_path=example.gdsii

session.import_gdsii(gdsii_file_path)

#选择图形

session.select_polygon(layer1,polygon1)

#移动图形

new_position=(100,200)

session.move_polygon(new_position)

#缩放图形

scale_factor=1.5

session.scale_polygon(scale_factor)

#旋转图形

rotation_angle=45#单位为度

session.rotate_polygon(rotation_angle)

#进行布尔操作（例如，合并两个多边形）

session.select_polygon(layer1,polygon2)

session.boolean_operation(union,layer1,polygon1,polygon2)

#保