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化合物半导体的外延生长设备项目风险评估报告.docx

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    化合物半导体的外延生长设备项目风险评估报告

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    化合物半导体的外延生长设备项目风险评估报告

    目录

    TOC\o1-9前言 4

    一、安全评价范围、目的及依据 4

    (一)、评价范围 4

    (二)、评价目的 5

    (三)、评价依据 7

    二、事故原因分析及事故后果预测 8

    (一)、事故案例及原因分析 8

    (二)、事故后果预测 9

    三、环境评价 10

    (一)、环境评价概述 10

    (二)、评价化合物半导体的外延生长设备项目概况 10

    (三)、环评单位的基本情况 12

    (四)、评价范围及目的 13

    (五)、评价依据 15

    (六)、国家环保法律法规

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