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硅片工艺培训课件.pptx

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    硅片工艺培训课件;硅片工艺概述

    硅片制备技术

    硅片加工技术

    硅片测试与表征方法

    硅片工艺中的安全与环保问题

    硅片产业发展趋势与前景展望;01;硅片工艺是半导体器件生产中，对硅片进行一系列加工处理的工艺流程，包括清洗、抛光、氧化、扩散、光刻等步骤。;现阶段;硅片是集成电路的主要衬底材料，硅片工艺广泛应用于各种集成电路的制造过程中。;02;;晶体生长方法及设备介绍;切片、研磨和抛光流程;几何尺寸测量;03;硅片表面污

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