扩散间注意事项.ppt

**注意事项PART1生产注意事项恒温箱注意事项工艺卫生注意事项违规作业生产注意事项PART2按工艺要求调整原始硅片电阻率测量电流。测量方块电阻时按工艺要求校准电流。按工艺要求精确测量方块电阻。正常运行工艺时，舟不能自动进出。应：有可能是面板上的“急停”按纽处按下去了。限位开关未复位或损坏。保险丝烧断，由设备换保险。12换POCL３时，由于误操作，将软管接反源倒流，应：01立即关闭小Ｎ2，把软管卸下，用带有酒精的抹布擦拭。02联系工艺人员更换软管。03将Ｏ2打开至工艺标准。正确装好再做鼓泡实验。04换源时搬运源瓶，阀门有液体滴下，应：立即将出气口开至最大，（进气口也必须开），使源瓶内部压力保持平衡。如液面仍偏高，则可将源瓶微微倾斜，待源慢慢回流到瓶子里。010203恒温箱注意事项PART3恒温箱界面恒温箱采用水冷方式。扩散源温控制在20度±0.5度，使用时恒温箱中需加入一定量的水，并要注意液位的变化，过高会溢出造成电器的短路，过低会造成源温不受控，更换源瓶时需相应加水或抽水。此外，还应视水质状况进行定期换水。工艺卫生注意事项PART4进入扩散间时必须穿洁净服、并穿戴一次性鞋套。进入风淋门前要按要求穿戴好，双臂上举，旋转风淋30秒。违规作业PART5工序安全严禁作业更换过源瓶后必须对源瓶软管进行检查，以防止软管老化，导致源外泄！以下是更换源瓶时没有穿防护服!以下是更换源瓶时没有戴好防毒面具穿防护服!禁止一只手拿两个盒子！工序6S严禁作业禁止用舟叉点击界面！**