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半导体检测设备产业实施方案

——行业发展实施规划

半导体检测设备是半导体设备的一个重要分支，占半导体设备比重在15%左右。半导体检测从设计验证到最终测试都不可或缺，贯穿整个半导体制造过程。按照电子系统故障检测中的“十倍法则”，如果一个芯片中的故障没有在芯片测试时发现，则在电路板（PCB）级别发现故障的成本为芯片级别的十倍。

新时期是全面建设小康社会的关键时期，站在新的历史起点上，产业发展要把握好这个重要的战略机遇期，按照贯彻落实科学发展观的要求，结合产业自身发展的现状和趋势，科学制定具有战略性、前瞻性和导向性的发展规划，全面提升产业的发展水平，对扩大就业，调整经济结构，实现全面建设小康社会的宏伟目标都具有重要的意义。

为了加快区域产业结构调整和优化升级，推进未来几年产业健康快速发展，按照“领先发展、科学发展、又好又快发展”和“产业倍增”的战略部署，结合区域产业发展情况，制定本规划。

第一章规划路线

以产业转型升级为发展主线；以质量效率型、集约增长型为主要发展方式；以创新驱动为主要发展途径。促进区域产业总体保持中高速增长，产业迈向中高端水平，实现产业发展质量和效益全面提升。

第二章发展原则

1、坚持融合发展。推进业态和模式创新，促进信息技术与产业深度融合，强化产业与上下游产业跨界互动，加快产业跨越式发展。

2、因地制宜，科学发展。充分结合各区域经济社会发展水平、资源条件，分地区、分类型制定科学合理的工作路线，指导推动产业现代化发展。

3、坚持转型发展。引导要素优化配置，提高全要素发展。

4、产业联动，协同发展。统筹协调产业与关联产业联动发展，培育关联生产性服务业，促进产业成链发展，提升产业发展水平，增强行业发展的整体性和协调性，扩大高端产品服务供给，加快产业和产品向价值链中高端跃升。

第三章背景分析

半导体检测设备是半导体设备的一个重要分支，占半导体设备比重在15%左右。半导体检测从设计验证到最终测试都不可或缺，贯穿整个半导体制造过程。按照电子系统故障检测中的“十倍法则”，如果

一个芯片中的故障没有在芯片测试时发现，则在电路板（PCB）级别发现故障的成本为芯片级别的十倍。

2019年半导体行业受存储价格暴跌影响，全球半导体行业出现下滑。2019年全球半导体行业营收为4121亿美元，与2018年相比大跌12.1%，这是自2001年以来的最大降幅。2019年全球半导体设备销售额597.5亿美元，较2018年的645.3亿美元下降了7.41%。

从地区销售情况来看，中国台湾地区是2019年半导体设备的最大市场，销售额增长了68％，达到171.2亿美元，占比28.65%。中国大陆以134.5亿美元的销售额保持其第二大设备市场的地位。其次是韩国，

为99.7亿美元，受存储市场大幅下滑影响，韩国2019年半导体设备销售额下降了44％。尽管日本，欧洲和世界其他地区的新设备市场萎缩，

但北美设备销售额在2019年跃升了40％，达到81.5亿美元，这是该地区连续第三年增长。

预计2020年我国半导体设备将达1700亿元，其中检测设备占总设备17%（晶圆检测9%，过程工艺控制8%），预计我国半导体检测设备2020年规模在289亿元。从检测设备细分领域而言，量测设备和缺陷检测设备是最主要的两个领域，分为为117亿元和144亿元。

工艺控制检测设备即前道量测/检测设备，在半导体制造工艺过程中，对晶圆进行测量和检测，以保证在制造的过程中，关键的工艺参数满足设计要求，从而提升芯片制造的良品率。

量测主要是对芯片的薄膜厚度、关键尺寸、套准精度等制成尺寸和膜应力、掺杂浓度等材料性质进行测量，以确保其符合参数设计要求；缺陷检测主要用于识别并定位产品表面存在的杂质颗粒沾污、机械划伤、晶圆图案缺陷等问题。

检测设备细分到每个领域差异极大，在上游硅片、光刻胶、电子气体、超净高纯试剂、溅射靶材生产环节需大量的分析仪器，其中高端分析仪器比如质谱仪、光谱仪、色谱仪是必备仪器。

全球前道检测领域前三甲分别为科磊半导体（美国）、应用材料（美国）、日立（日本），占率分别约为52%、12%、11%。国内前道检测领域主要企业有上海睿励、上海精测、中科飞测等，整体规模尚较小。

第四章区域产业条件

全年地区生产总值增长xx%；一般公共预算收入增长xx%（剔除减税降费等因素，可比口径实际增长xx%以上）；城乡居民人均可支配收入分别增长xx%和xx%；城镇登记失业率控制在xx%，城镇新增就业

xx万人，超额完成年度目标任务。xx年，是全面建成小康社会和“十三五”规划收官之年。面临的国内外形势复杂严峻，区域经济发展处于深度调