- 1、本文档共10页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
•濺鍍是屬於物理氣相沉積PVD
•物理氣相沉積法的沉膜過程有三步驟
•以物理方法將薄膜材料由固體變為氣體
•薄膜材料的氣態原子或離子穿過真空抵達
樣品外表
•薄膜材料沉積在樣品上形成薄膜
真空腔電漿區
鉻原子
e-Ar+
直
e-鉻
e-Ar+靶流
材負
高
電
壓
Ar+
e-e-
樣Ar+
品
•讓濺鍍出的金屬原子與氣體〔氮、氧..)反
應
•舉例:銀白色的鈦金屬,濺鍍出鈦原子(Ti)
與氮氣(N2)反應,就會以金黃色的氮化鈦
來成膜。
•當我們選擇週期表上各種金屬當濺鍍靶材
金屬〔鈦、鋁、鎳、鐵、銅、銀、鉻、
銀…等〕再搭配不同反應氣體〔氮氣、氧
氣..等〕,就可做出各種變化的薄膜。
•功能性的應用:
•半導體業的金屬層〔導電層、擴散障礙
層..〕、光電業ITO透明導電層、機械加工
刀具業的外表硬化層(TiN、CrN..)、光學
鏡片業的光學膜、3C產業EMI鍍膜
•裝飾性的應用:各色有金屬感的鍍膜
•黑灰色系:可以依製程調整做各種灰度的
顏色
•白色系:有質感的象牙白、黃白色
•彩色系:針對較平面的區域可以選擇性做
各種彩色
•無電氣特性且有金屬光澤鍍膜
前處理真
空腔2濺鍍真空腔
前處理真上下料區
空腔1
素材入
-脫脂清洗純水清洗熱風吹乾
料檢驗
上治具、
濺鍍鍍膜真空抽氣靜電除塵
上架
下治具、
洩氣破真空品檢出料轉艙
下架-
文档评论(0)