2025年等离子加工系统的现场安装和可维修性的RF计量特性化 .pdfVIP

操千曲尔后晓声，观千剑尔后识器。——刘勰

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN2025819A

(43)申请公布日2025.12.27

(21)申请号CN202520252025.0

(22)申请日2004.07.20

(71)申请人MKS仪器有限公司

地址美国马萨诸塞州

(72)发明人大卫考摩·克利福德·瓦日瑞尔迈克尔科克·凯文·内斯曼

(74)专利代理机构北京德琦知识产权代理有限公司

代理人周艳玲

(51)Int.CI

H01J37/32

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

等离子加工系统的现场安装和可维

修性的RF计量特性化

(57)摘要

一种现场替代RF计量系统部件的

系统。该系统包括传感器/电缆组合部件与

分析单元。在将RF计量系统放置在现场

中之前，确定该RF计量系统的参数。根

据这些参数，通过针对所替代单元重新校

准该系统，可以在现场中替代任意一个部

件，电缆/传感器组合部件或分析模块。在

百川东到海，何时复西归?少壮不努力，老大徒伤悲。——汉乐府

将RF计量系统放置于现场中之前，利用

所确定的参数来执行这样的重新校准。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

人人好公，则天下太平；人人营私，则天下大乱。——刘鹗

权利要求说明书

1.一种无线电频率RF计量系统，用于监控RF发生器到负载的输出，包括：

传感器部件，该传感器部件检测施加给负载的电压和电流中的至少一个；

分析模块部件，该分析模块部件接收来自所述传感器部件的电压和电流传感器信号

中的至少一个；

其中当其它部件保持安装状态时，可以更换所述传感器部件和分析模块部件之一，

并且在更换一个部件之后，重新校准所述RF计量系统。

2.根据权利要求1所述的RF计量系统，其中所述传感器部件进一步包括传感器模

块和电缆，该电缆互连该传感器模块与该分析模块部件。

3.根据权利要求1所述的RF计量系统，进一步包括输入至所述分析模块部件的缩

放矩阵，以便在安装一个更换部件之后，校准所述RF计量系统。

4.一种更换RF计量系统部件的方法，该RF计量系统用于监控RF发生器到负载的

输出，该方法包括以下步骤：

配备包含基本传感器和基本分析模块的RF系统；

校准基本RF计量系统；

为天地立心，为生民立命，为往圣继绝学，为万世开太平。——张载

确定所述基本传感器的频率响应特性；

确定所述基本分析模块的响应特性；

特性化基本传感器以外的一组传感器的频率响应；

确定一套校准系数；和

根据所述校准系数生成缩放矩阵。

5.根据权利要求4所述的方法，进一步包括如下步骤，用储备池传感器和储备池分

析模块之一来更换基本传感器和基本分析模块之一，以限定替代的RF计量系统