微波管总成工艺.ppt

有油系统：包含有以油作为工作、润滑物质的真空泵，以油作密封的真空阀门的真空系统。存在油蒸汽的污染。是微波管制造中一个关键的综合性工序。排气：就是将管子内部气体抽走，使之达到一定真空度的工艺过程。排气过程中，不仅要排除管子内部空间的气体，还应该去除管内零件所吸附或吸收的气体，还要对阴极进行必要的处理，分解、激活，老练。对充气管还需要充入指定种类和气压的气体等等。0102034.3微波管排气1微波管排气的一般过程01微波真空器件排气过程都必须严格按预先设定好的排气规范进行。一般微波管排气过程主要包括以下一些步骤：接管与检漏去气阴极处理封离02接管：将待排气的器件与排气台真空系统连接起来。玻璃排气管：与排气台上的玻璃接口熔封；金属排气管：喇叭口压接和刀口平面压接。取决于排气台上的接口形式。（1）接管与检漏检漏：检查管子与排气台的连接是否可靠气密，再次检查管子本身的所有焊接是否发生了漏气。常用排气台检漏方法：酒精检漏和充气检漏。酒精检漏：检漏前先对管子进行抽气，当真空度达到10-2~10-3帕以上时，用棉花或者绸布、毛笔蘸无水酒精擦涂器件与真空系统的接口部位和器件的其它焊缝，同时观察真空系统的电离真空计指示有无变化，若真空度下降，则表示酒精所擦部位有漏气。01040203充气检漏：仅适用于双真空排气台。上管完毕，将外真空钟罩放下，管内与管外同时抽真空。当器件内部真空度达到10-3帕，外部真空达到10帕以上时，关闭外真空抽气泵，通过放气阀向钟罩内部充入大气，观察电离真空计有无变化，如果内真空的真空度下降，则说明有漏气孔存在。充气检漏方法比酒精法更灵敏，可以检出更小的漏孔，但不能检出漏孔所在位置，往往还要用酒精法再进一步检出漏孔位置，以便采取必要的弥补措施。当确认管子没有任何漏孔以及与真空系统连接可靠后，就可以正式进入排气程序。去气：指去除器件内部所有零件以及真空系统内部表面吸附的气体和材料内部吸收的气体。01排气去气包括：管子和真空系统去气。02气体分子与固体表面碰撞时，会被固体表面所吸附，部分气体分子还会进入固体内部被溶解吸收。03去气原理：固体表面吸附或者内部吸收的气体分子都可以通过加热的方法，使分子动能增加、运动加剧，从而从固体表面或者内部跑出。04（2）去气当器件内部真空度达到10-3~10-4帕以上，双真空排气台的外部真空达到10-1~10-2帕以上时才能开始加热升温去气，升温速度：根据器件的放气量、真空系统的抽气速率决定，原则就是保证在加热过程中管子内部真空在10-3帕以上，外真空在10-1帕以上。以防止引起阴极中毒、管子内外表面氧化。（a）升温：陶瓷金属结构：烘烤温度500至600℃。最高温度：在保证管壳以及管内零件不变形、不引起热应力产生的漏气的原则下，尽可能高一些，以便去气彻底。玻璃金属结构：去气温度应该控制在500℃以下，450℃左右为宜；金属零件局部高频加热：温度可达700至800℃。（a）升温：（b）一次保温：去气时在最高温度下应保温一段时间，保证材料吸附和吸收的气体彻底去除。保温时间主要根据器件的大小、材料性质来决定，小型微波管可保温数小时，大型微波管可保温10~30小时。到保温结束时，器件的内部真空度一般都可以达到10-5帕甚至更高。在升温或保温过程中，当器件烘烤去气一定时间，出气量已经不多、真空度稍高后才开始进行系统烘烤，以免器件与系统同时烘烤出气量太大，使真空度超出要求范围。系统烘烤通常数小时至十多小时。（c）系统烘烤阴极分解：保温结束后，在管子内真空达到10-4帕以上时才可以进行阴极分解。为了避免灯丝加热导致管子温度过高，阴极处理时，适当降低烘箱的烘烤温度，通常降低50℃左右。分解过程：按排气规范逐步增加灯丝电流（或者电压），每升一步至少应保持1~5分钟，分解过程应随时监视真空度，保证管内真空度始终在10-3帕以上，如低于10-3帕，应立即降低灯丝电流，减缓灯丝电流增加速度。在每一档电流下，当真空度恢复到10-4帕以后，还需继续保持0.5~2分钟才可以继续增加灯丝电流。010302（3）阴极处理01阴极激活就是借助电流激活方式使钡原子向阴极表面转移的过程。阴极激活不仅能提高阴极的发射能力，而且也可以达到电极的电子轰击去气目的。02闪炼激活：加灯丝电流高于工作额定值，时间不超过3~5分钟。（b）阴极激活老练（c）初测发射灯丝降至额定值，加阳极电压如100V、200V、400V最高1000V，测量阴极发射电流。如达到要求可进行下一步老练激活；如发射太小，可采取进一步加高灯丝电流的闪练激活。烘箱温度不变