- 1、本文档共5页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
通过改变光的偏振态,从而实现白光干涉中的光学相移原理
通过改变光的偏振态,从而实现白光干涉中的光学相移原理,是一个涉及光学原理和技术的复杂过程。以下是对这一过程的详细解释:
一、光的偏振态与白光干涉
光的偏振是指光波在传播过程中,光矢量的方向和大小有规则变化的现象。白光干涉则是利用光的波动性,使两束或多束相干光波在空间某点相遇并产生明暗相间的干涉条纹。这些干涉条纹的形成取决于光波的相位差,而相位差则与光波经过的光程差和偏振状态有关。
二、偏振态的改变与光学相移
在白光干涉测量中,通过改变光的偏振态,可以实现对光波的相位调制,从而改变干涉条纹的位置和形态。这种相位调制可以通过以下方式实现:
偏振片的调节:偏振片是一种具有偏振特性的光学元件,它可以选择性地透过或抑制特定方向上的光波。通过调整偏振片的方向和角度,可以改变透射光的偏振状态,进而实现对光波的相位调制。
波片的使用:波片是一种能够改变光波相位的光学元件。其中,四分之一波片(λ/4波片)可以将线偏振光转换为圆偏振光或椭圆偏振光,同时引入一定的相位差。通过调整波片的放置角度和类型,可以实现对光波相位的精确控制。
三、实现过程与步骤
光源与光路设计:选择适当的光源,并设计合理的光路,以确保两束或多束相干光波能够相遇并产生干涉现象。
偏振态的调节:利用偏振片和波片等光学元件,对入射光进行偏振调制。通过调整这些光学元件的方向和角度,可以改变透射光的偏振状态,从而实现对光波的相位调制。
干涉条纹的观测与分析:在干涉仪的接收屏上观测干涉条纹的变化。随着偏振态的改变,干涉条纹会发生移动或变形。通过测量干涉条纹的变化量,可以计算出相位差,进而得到待测物体的相关信息。
四、应用实例
基于改变光的偏振态实现白光干涉中的光学相移原理,在多个领域具有广泛的应用:
表面形貌测量:通过测量干涉条纹的变化量,可以精确计算出待测物体表面的微小起伏和缺陷。
薄膜厚度测量:利用白光干涉测量技术可以精确测量薄膜的厚度和均匀性。通过改变偏振态并观测干涉条纹的变化,可以计算出薄膜的厚度。
光学元件检测:白光干涉测量技术还可用于检测光学元件的缺陷、应力分布等。通过观测干涉条纹的形态和变化,可以判断光学元件的质量和性能。
综上所述,通过改变光的偏振态实现白光干涉中的光学相移原理是一种高精度、非接触式的测量方法。它在表面形貌测量、薄膜厚度测量和光学元件检测等领域具有广泛的应用前景和重要的研究价值。
TopMapMicroView白光干涉3D轮廓仪
一款可以“实时”动态/静态微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪
1)一改传统白光干涉操作复杂的问题,实现一键智能聚焦扫描,亚纳米精度下实现卓越的重复性表现。
2)系统集成CST连续扫描技术,Z向测量范围高达100mm,不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率,为复杂形貌测量提供全面解决方案。
3)可搭载多普勒激光测振系统,实现实现“动态”3D轮廓测量。
实际案例
1,优于1nm分辨率,轻松测量硅片表面粗糙度测量,Ra=0.7nm
2,毫米级视野,实现5nm-有机油膜厚度扫描
3,卓越的“高深宽比”测量能力,实现光刻图形凹槽深度和开口宽度测量。
您可能关注的文档
- 通过电光晶体的电光效应,实现白光干涉中的电光调制相移原理.docx
- 通过声光介质的声光效应,实现白光干涉中的声光调制相移原理.docx
- 不同的氮化镓衬底的吸附方案,对测量氮化镓衬底 BOW_WARP 的影响.docx
- 不同的碳化硅衬底的吸附方案,对测量碳化硅衬底 BOW_WARP 的影响.docx
- 不同的真空吸附方式,对测量晶圆 BOW 的影响.docx
- 测量探头的“温漂”问题,都是怎么产生的,以及对于晶圆厚度测量的影响.docx
- 测量探头的“温漂”问题,都是怎么产生的,以及对于碳化硅衬底厚度测量的影响.docx
- 测量探头的“温漂”问题,对于晶圆厚度测量的实际影响.docx
- 测量探头的“温漂”问题,对于碳化硅衬底厚度测量的实际影响.docx
- 氮化镓衬底的环吸方案相比其他吸附方案,对于测量氮化镓衬底 BOW_WARP 的影响.docx
- 2025至2030年中国金属铠装中置式高压手车柜数据监测研究报告.docx
- [宁波]2024年浙江宁波市海曙区章水镇招聘专职禁毒社工笔试历年典型考点(频考版试卷)附带答案详解.docx
- 2025年温度监控器项目可行性研究报告.docx
- 2025至2030年高光水性高耐磨上光油项目投资价值分析报告.docx
- 2025年中国光纤双向数据传输系统市场调查研究报告.docx
- 2025至2030年子宫洗涤器项目投资价值分析报告.docx
- 2025至2030年中国切丝仪数据监测研究报告.docx
- 2025至2030年中国电彩锌数据监测研究报告.docx
- 2025至2031年中国金属陶瓷X射线管行业投资前景及策略咨询研究报告.docx
- 2025年地埋线项目可行性研究报告.docx
文档评论(0)