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《金属氧化物半导体气体传感器气体检测关键问题研究》
一、引言
随着科技的不断进步,气体检测技术已广泛应用于环保、工业生产、医疗健康等多个领域。其中,金属氧化物半导体气体传感器以其低成本、高灵敏度、快速响应等优点,在气体检测领域中占有重要地位。然而,在实际应用中,金属氧化物半导体气体传感器仍面临诸多关键问题。本文将就这些问题进行深入研究,以期为相关领域的研究与应用提供参考。
二、金属氧化物半导体气体传感器概述
金属氧化物半导体气体传感器是一种利用金属氧化物半导体材料对气体进行检测的传感器。其工作原理主要基于气体分子与金属氧化物半导体材料表面发生的化学反应,导致材料电导率发生变化,进而实现对气体浓
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