TZJBDT-硅单晶及其硅片单位产品能耗限额.pdf

ICS27.010

CCSF01

ZJBDT

团体标准

T/ZJBDTXXXX—XXXX

硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额

TheQuotaofEnergyConsumptionPerUnitProductofMonocrystalline

SiliconandMonocrystallineSiliconWafer

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

浙江省半导体行业协会  发布

T/

FORMTEXT

ZJBDT

FORMTEXT

XXXX

—

FORMTEXT

XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由浙江省半导体行业协会提出并归口。

本文件起草单位：浙江省半导体行业协会、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、浙江金瑞泓科技股

份有限公司、浙江中晶科技股份有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、浙江大学。

本文件主要起草人：丁勇、陈丽霞、徐新华、许峰、黄笑容、潘金平、屈万园。

I

T/

FORMTEXT

ZJBDT

FORMTEXT

XXXX

—

FORMTEXT

XXXX

硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额

1范围

本文件规定了硅单晶和硅单晶片单位产品能源消耗限额的能源限额等级、技术要求、统计范围和方

法、计算方法。

本文件适用于半导体级硅单晶和硅单晶片（分为研磨片、抛光片、外延片）单位产品能耗的计算、

考核，以及对新（改、扩）建项目的能耗控制。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T2589综合能耗计算方法

GB/T12723单位产品能源消耗限额编制通则

GB17167用能单位能源计量器具配备和管理通则

3术语和定义

GB/T2589和GB/T12723界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

产品综合能耗ComprehensiveEnergyConsumptionofProduct

统计期内，用于生产合格产品所消耗的各种能源，按照规定的计算方法和单位分别折算后的总和。

单位产品综合能耗ComprehensiveEnergyConsumptionPerUnitProduct

统计期内，产品综合能耗与合格产品产量的比值。

硅单晶片可比产量ComparableOutputofMonocrystallineSiliconWafer

企业生产的不同直径规格的合格硅单晶片实际产量，按硅片表面积折算系数折算后的产量。

硅单晶MonocrystallineSilicon

高纯度的多晶硅在单晶炉内用直拉法生长，用于制造硅片的单晶硅棒材。

硅单晶研磨片GroundMonocrystallineSiliconWafer

硅单晶切割片经研磨工艺加工而成的硅片。

硅单晶抛光片PolishedMonocrystallineSiliconWafer

硅单晶研磨片经抛光加工而成的表面高平坦度的硅片。

硅单晶外延片Monocry