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《层叠式多腔并联压电泵结构设计与性能分析》

一、引言

随着微机电系统（MEMS）技术的快速发展，压电泵作为微流体控制的核心元件，其结构设计与性能分析显得尤为重要。层叠式多腔并联压电泵作为一种新型的压电驱动泵，具有结构紧凑、驱动效率高、响应速度快等优点，在微流控、生物医学、航空航天等领域有着广泛的应用前景。本文将详细介绍层叠式多腔并联压电泵的结构设计，并对其性能进行深入分析。

二、层叠式多腔并联压电泵结构设计

1.基本结构

层叠式多腔并联压电泵主要由压电陶瓷片、上下电极、泵腔、进出口阀等部分组成。其中，压电陶瓷片是驱动核心，通过电压的施加实现形变；泵腔采用多层叠加的方式，形成多个相互独立的腔体