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1
半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物PFA阀门技术规范
1范围
本文件给出了半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA）阀门（以下简称“PFA阀门”）的工作条件，规定了PFA阀门的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于PFA阀门的设计与检验。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T2828.1—2012技术抽样检验程序第1部分:按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计
划
GB/T10610产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法
GB/T12220工业阀门标志
GB/T13927工业阀门压力试验
GB/T13979质谱检漏仪
GB/T17213.9工业过程控制阀第2-3部分:流通能力试验程序
GB/T44580热塑性塑料阀门疲劳强度试验方法
SEMIF57-2001用于超纯水和液体化学分配系统的聚合物组件的临时规范（Provisionalspecificationforpolymercomponentsusedinultrapurewaterandliquidchemicaldistributionsystems）
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
阀门valve
用来控制管道内介质的，具有可动机构的机械产品的总体。[来源：GB/T21465—2008，2.1]
4工作条件
PFA阀门在5℃~120℃温度下应能正常工作。
5技术要求
5.1外观
PFA阀门内外表面不允许有裂纹、气泡、脱皮和明显的杂质、缩形、色泽不均和分解变色等缺陷。5.2壁厚及公差
PFA阀门尺寸与公差应符合表1的规定。
表1公制软管尺寸表
单位为毫米
2
外径标称
内径标称
公差
壁厚
公差
3
2
±0.10
0.50
±0.05
4
3
±0.10
1.00
±0.05
6
4
±0.10
1.00
±0.10
8
6
±0.10
1.00
±0.10
10
8
±0.10
1.00
±0.10
12
10
±0.10
1.00
±0.10
19
16
±0.15
1.50
±0.15
25
22
±0.20
1.50
±0.15
5.3长度及偏差
PFA阀门的长度及允许偏差应符合表2的规定。
表2长度及偏差
长度
允许偏差
1/4
-0.2
3/8
1/2
3/4
-0.3
1
1-1/4
-0.4
1-1/2
-0.5
5.4压力
5.4.1PFA阀门所能承受的最大压力应不小于0.5MPa。
5.4.2进行压力试验时，不应破裂及出现泄漏现象。
5.5流通能力
在20℃,0.1MPa条件下，PFA阀门流通能力应符合表3的规定。表3输出流量
直径（inch）
Φ通径（mm）
流量系数（1minKv100）
流量（m/h3）
1/8
2
1.00
0.06
1/4
4
4.70
0.28
3/8
6
10.00
0.60
1/2
9
22.00
1.32
3/4
16
62.00
3.72
1
22
120.00
7.20
1-1/4
28
190.00
11.40
1-1/2
33
340.00
20.40
5.6气密性
按6.6进行试验时，PFA阀门工作10min泄漏量应不大于10-5Pam3/s。5.7耐振性
按6.7进行试验后，PFA阀门任何部位不应有裂纹。5.8耐腐蚀性
PFA阀门在表4规定浓度的化学品中，按6.8进行试验后不应有任何程度的损伤。
3
表4耐腐蚀化学品名称及浓度
化学品名称
浓度
盐酸（HCl）
37%
双氧水（H2O2）
28%
氢氟酸（HF）
49%
硝酸（HNO3）
69%
氢氧化钾（KOH）
40%
氢氧化钠（NaOH）
40%
臭氧（O3）
20ppm
5.9制造
5.9.1表面粗糙度
PFA阀门表面粗糙度应符合下列规定：
a)挤压成型部件不大于0.25μm；
b)注塑成型部件不大于0.38μm；
c)机械制造部件不大于0.62μm。
5.9.2洁净度
PFA阀门的颗粒度、离子污染、金属污染、总有机碳（TOC）应符合SEMIF57-2001的规定。5.10启闭性能
5.10.1应易于拆装、清洗和维护。
5.10.2应
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