超短脉冲激光和湿法辅助刻蚀加工蓝宝石.docx

摘要

由于蓝宝石晶体具有良好的物理、化学、光学性质，已经被广泛应用于航天尖端科技及现代电子制造领域。但是由于蓝宝石太脆了，加工过程中容易损坏。又因为蓝宝石生长十分困难，价格比较昂贵。所以本文为了解决这一工业生产中的问题，开展了超短脉冲激光和湿法辅助刻蚀的方法对蓝宝石晶片的加工的理论以及实验研究。论文主要内容有以下几点：

简要介绍蓝宝石的应用领域范围，并详细分析了超短脉冲激光以及湿法刻蚀两种蓝宝石加工工艺的国内外研究现状。

介绍超短脉冲激光技术的理论知识，分析超短脉冲激光与蓝宝石作用的原理，阐述刻蚀技术的机理，为本课题所开展的实验提供坚实的理论基础。

开展蓝宝石晶片的皮秒紫外激光加工实验