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IGZO薄膜晶体管专利技术现状
目录
IGZO薄膜晶体管专利技术现状（1）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.2研究目的与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
IGZO薄膜晶体管概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
2.1定义与特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
2.2IGZO薄膜晶体管的发展历程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
专利技术现状分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
3.1国内外专利总体情况．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
3.2关键技术与专利分布．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
3.3专利申请趋势分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
主要专利技术分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
4.1制造工艺与设备相关专利．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
4.2材料与掺杂技术相关专利．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
4.3器件结构与性能优化相关专利．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
4.4可靠性技术与寿命相关专利．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
专利竞争格局分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
5.1主要专利申请人与分布．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
5.2专利竞争态势分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
5.3潜在竞争对手分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
IGZO薄膜晶体管专利技术的挑战与机遇．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
6.1技术挑战分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
6.2发展趋势与机遇．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
6.3专利布局与策略建议．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
7.1研究结论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
7.2展望与未来研究方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
IGZO薄膜晶体管专利技术现状（2）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
IGZO薄膜晶体管专利技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
1.1IGZO薄膜晶体管技术背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
1.2IGZO薄膜晶体管技术优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
1.3IGZO薄膜晶体管应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
IGZO薄膜晶体管专利技术发展历程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
2.1早期研究与发展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
2.2技术突破与专利申请．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
2.3技术成熟与应用推广．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
IGZO薄膜晶体管专利技术分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
3.1材料制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
3.1.1溶液法．．．．．．．．．．．．．．
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