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现代PVD表面工程技术期末复习内容及答案--第1页

PVD1810.22

1.PVD：真空蒸镀、溅射镀膜、离子镀。

2.真空泵的分类：气体传输泵、气体捕集器。

3.弧源、磁过滤器、真空靶室和其他附属部分

4.PVD的前处理：清洗、去毛刺、喷砂抛光等。

5.分析膜层组织形貌可以采用：

金相显微镜、扫描电子显微镜、透射电子显微镜。

6.涂层的微观结构和形状最终决定了其性质。

7.衍射峰位角2θ是反映衍射方向的问题，主要与辐射波长，晶胞类型，晶胞

大小及形状有关。遵循布拉格方程。

8.涂层结合力的检测方法：划痕、压痕、球痕测试法。

9.常见的应力测试方法：X射线和电子衍射法，试样变形分析法和光干涉法。

10.靶材按成分分为：单质金属、合金、陶瓷靶材。

11.PVD涂层的研究方向：设备、涂层组元、涂层膜结构、涂层纳米化。

12.真空泵主要分为：气体传输泵、气体捕集泵。

13.靶材形状分为：矩形平面靶材，圆形平面靶材和圆柱靶材。

14.传统靶材制造方法包括：铸造，粉末冶金和非金属粉末。

15.零件的主要失效形式：腐蚀、磨损、疲劳、断裂。

16.涂层内应力主要分为热应力和涂层生长应力。

17.涂层厚度的检测方法：断面法、球痕法、无损检测法。

判断题

1.与化学气相沉积相比，物理气相沉积温度高、无污染。（错，温度低）

2.真空度即是气体的稀薄程度。（错，真空度是指处于真空状态下的气体稀薄程

度。）

3.与溅射镀和离子镀相比，蒸镀结合性能最好。（错，最差）

4.对刀具喷砂处理可起到刃口细化作用。（对）

5.氮铝化钛涂层是紫黑色，附着力比氮化钛涂层大，耐热性能优越（对）

6.清洗是PVD涂层前必不可少的一道工序。（对）

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现代PVD表面工程技术期末复习内容及答案--第2页

7.刀具涂层要求周边厚度一致，因此涂层过程中必须有三个转动惯量。（对，自

转，公转，大工件台转动）

8.在工业领域内，通常用自来水进行漂洗。（错，杂质多）

9.在刀具刃尖涂层沉积最厚，涂层内应力更高。（对）

10.一般情况下，涂层与基体的界限越明显，则涂层结合力越好。（错，越明显

越差）

11.相比于平面靶材，旋转管靶材利用率较大。（对）

12.蒸镀技术是与等离子体气相沉积。（对）

13.大部分刀具刃磨后，韧口存在毛刺。（对）

14.磁控溅射技术阴极电弧技术都是热能蒸发反应。（对，离子镀技术属于热能

蒸发，它们属于等离子体气相沉积）

简答

1.物理气相沉积的优缺点

物理气相沉积涂层具有以下优点:

（1）与化学气相沉积层相比，物理气相沉积涂层的温度低，一般在600℃以下，

对刀具材料的抗弯强度几乎没有影响；

（2）涂层内部为压应力状态，更适合硬质合金精密复杂类刀具的涂层；（3）对

环境不产生污染，符合目前绿色工业的发展方向；

（4）纳米级涂层的出现，使得物理气相沉积涂层刀具质量有了新的突破，这种

涂层不仅结合强度高、硬度高和抗氧化性能好，还可以有效地控制精密刀具刃口

形状及精度。

虽然物理气相沉积涂层具有以上优点，但是还存在一些缺陷:

（1）涂层设备复杂、昂贵、工艺要求高、涂层时间长和刀具的成本增加等；（2）

用此法生产的刀具抗冲击性能、硬度和均匀性比高温化学气相沉积涂层生产的刀

具差，使用寿命也比高温化学气相沉积涂层生产的刀具短；

（3）涂层的刀具几何形状单一，限制其优越性的发挥；

（4）涂层与基体在冷却时由于收缩率