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半导体设备项目安全评估报告.docx

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    半导体设备项目安全评估报告

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    半导体设备项目安全评估报告

    目录

    TOC\o1-9前言 4

    一、安全评价程序与评价方法 4

    (一)、安全评价程序 4

    (二)、划分评价单元 5

    (三)、确定采用的安全评价方法 7

    二、安全评价范围、目的及依据 9

    (一)、评价范围 9

    (二)、评价目的 10

    (三)、评价依据 11

    三、环境评价 12

    (一)、环境评价概述 12

    (二)、评价半导体设备项目概况 12

    (三)、环评单位的基本情况 14

    (四)、评价范围及目的 15

    (五)、评价依据 17

    (六)、国家环保法律法规 17

    (七)、

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