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MEMS陀螺前端放大器芯片设计及版图绘制摘要

微机电系统近几年来迅猛发展，相较于传统的转子陀螺，MEMS陀螺克服了体积大、精度低的缺点，成为陀螺发展的新趋势。但是MEMS陀螺的电流信号极为微弱，通常为nA或pA级别，因此必须对其前端放大电路的设计提出极高的要求，且实用陀螺产品要求芯片化接口电路。所有，设计芯片级的低噪声放大器，对于MEMS陀螺是十分有必要

的。本文运用CadenceVirtuoso软件平台，在搭建的IC618虚拟机上，使用SMIC公司提供的0.18um工艺的器件设计了一款能够作用在MEMS陀螺前端放