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原子力显微镜压电微定位平台的设计及位移预测控制
一、引言
随着纳米科技和精密工程的发展，原子力显微镜（AFM）在材料科学、生物学和纳米制造等领域的应用日益广泛。其中，压电微定位平台作为AFM的关键组件，其性能直接影响着AFM的成像精度和操作效率。本文旨在设计一款新型的压电微定位平台，并对其位移预测控制进行深入研究。
二、压电微定位平台设计
1.设计要求
设计压电微定位平台时，需考虑其稳定性、精度、响应速度及可操作性。平台应能够精确控制样品在X、Y、Z三个方向上的位置，并具备高分辨率和高重复定位精度。此外，考虑到操作环境的复杂性，平台的抗干扰能力和环境适应性也是设计的重要考量因素。
2.结构
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