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MEMS谐振式压力传感器驱动与检测电路的研究与设计

一、引言

随着微电子机械系统（MEMS）技术的不断发展，MEMS谐振式压力传感器因其高灵敏度、小尺寸及低功耗等优点，在诸多领域得到了广泛应用。本文将重点研究与设计MEMS谐振式压力传感器的驱动与检测电路，以提高传感器的性能及稳定性。

二、MEMS谐振式压力传感器概述

MEMS谐振式压力传感器是一种基于微机械谐振原理的压力检测装置。它通过检测谐振频率的变化来反映外界压力的变化。这种传感器具有高灵敏度、快速响应及非接触测量等优点。

三、驱动电路设计

1.电路结构：驱动电路主要由信号源、功率放大器、谐振器驱动模块和保护电路等部分组成。信号源提供稳