稀土磁致伸缩薄膜.ppt

稀土超磁致伸缩薄膜XXX目录☆二应用领域☆三研究现状☆一简介☆四前景展望一、简介稀土超磁致伸缩薄膜材料是以稀土超磁致伸缩材料为靶材而制备的一种功能薄膜，包括(Tb，Dy)Fe薄膜和Sm-Fe薄膜等。稀土超磁致伸缩薄膜比基体材料位移量大主要特点器件微型化元器件的驱动是无接触式，靠外加磁场驱动磁各向异性小、磁滞后小、共振频率高等二、应用领域目前，对包括微管道、微阀、微流量计、微泵等元件的微流量控制系统的研究已经成为微机械研究的热点之一，而功能薄膜型超磁致伸缩微驱动器的出现，又为微流体元件的驱动提供了一个新方法。如利用磁致伸缩效应实现对阀门的阀口进行控制等。1、在控制系统中的应用二、应用领域在线性超声微马达中的应用稀土超磁致伸缩功能薄膜材料的应变大，频率相应快，磁滞后小，因此被应用于线性超声微马达中。用稀土超磁致伸缩功能薄膜制备的线性超声微马达由(100)晶向硅晶片基板和具有正磁致伸缩效应的Tb-Fe功能薄膜制成。二、应用领域3、在微型行走机械中的应用随着微型化的发展，行走机械的能源供给问题现在还没有有效的解决方法，并成为开发微小行走机械的难关。作为该能源供给问题的一个解决方法，便是利用非接触式驱动的超磁致伸缩功能薄膜型微驱动元件。它的工作原理是利用外加磁场与行走机械共振来大幅度的提高机构的步进速度。脉冲激光辅助沉积06磁控溅射法05真空辉闪蒸镀(FE)04制备方法03离子束溅射(IBS)法02分子束外延生长(MBE)法01三、研究现状设备能长时间连续地工作成分易于控制可得到大面积均匀的膜易形成高熔点物质的膜法磁控溅射法优点膜与基片之间的粘着力强三、研究现状三、研究现状对于稀土磁致伸缩单层膜，通过改变薄膜成分或优化制备条件如溅射功率、Ar气压、退火温度、衬底温度，可以改变磁致伸缩单层膜的磁致伸缩和磁学性能。其中对TbDyFe体系单层膜的研究比其它体系单层膜更为广泛。三、研究现状合金的成分直接影响化合物的磁矩、居里温度和磁晶各向异性，从而影响薄膜的磁致伸缩性能。用磁致伸缩符号相同而磁晶各向异性相反的TbFe2和DyFe2在TbDyFe化合物组成磁晶各向异性相互补偿的二元系化合物，将降低磁晶各向异性。1、成分对性能的影响三、研究现状一般情况下，要求易磁化方向平行于膜面。对于TbDyFe薄膜，当薄膜受拉应力时，易磁化方向平行于膜面；而薄膜受压应力时，易磁化方向垂直于膜面。薄膜的内应力状态可通过改变工艺条件、选用不同热膨胀系数的衬底以及后续处理进行调整。2、薄膜应力性能的影响三、研究现状3、热处理和衬底温度对性能的影响为了将晶态薄膜的高磁致伸缩性能和较高居里温度与非晶态薄膜的低矫顽力结合起来考虑，可采用纳米晶结构。在TbDyFe薄膜中获得纳米晶结构可采用：①首先制备非晶态薄膜，然后对薄膜进行热处理以形成纳米晶；②在溅射过程中对衬底进行加热直接获得纳米晶结构。三、研究现状为了进一步提高磁致伸缩薄膜的低场特性和软磁特性，对磁致伸缩多层膜的研究也是一个热点。制备多层膜的出发点主要是通过增加饱和磁化强度Ms来降低饱和磁化场Hs(Hs=2K/Ms)。理论上研究多层膜的交换耦合作用、磁化过程以及反磁化核形核、长大等内容，技术应用上研究如何提高磁致伸缩多层膜的低场特性和软磁特性。各领域对应用超磁致伸缩薄膜的要求促进了对薄膜低场性能的深人研究，并有较大进展，而且在应用方面也有可喜成果。01但超磁致伸缩薄膜材料本身固有的一些缺陷以及理论研究的不成熟也限制了该材料的实际应用。02四、前景展望