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摘要
随着信息技术的飞速发展,人们逐步进入万物互连时代,爆炸性增长的信
息采集、传输和处理需求为下一代信息技术发展带来了新的挑战。其中,基于
光子天然的高速、并行的优势,发展一维纳米线基光子器件和光子系统被认为
是应对更低能耗、更小体积、更高速度和更大容量需求的关键。然而,现有的
传统半导体纳米线广泛存在薄膜材料缺陷、金属催化剂杂质问题,有机纳米线
面临高温结构失活、使用寿命有限的瓶颈,因此,如何引入新的光增益介质,
实现按需光场调控,拓展其应用范围,成为了信息领域破局的关键。稀土离子
(Ln3+)掺杂上转换纳米线凭借合成方法简便、化学易调谐、丰富的能级结构、
光化学稳定性高等特性成为光电集成器件的首选材料。本论文以Er3+单掺杂的
核壳结构铒氯硅酸盐(Si@ECS,Er(SiO)Cl)纳米线为研究目标,进行了系统
342
的化学气相沉积工艺参数优化研究,并进一步以其为光增益介质探索了其随机
激光特性,为后续的光学应用提供制备工艺和光学数据支撑。
本论文基于化学气相沉积方法制备出Si@ECS核壳结构纳米线,明确其形
貌与结构特性,即呈现出正交晶格结构、高长径比、低表面粗糙度和小直径(50
nm)特征。结合纳米线微观形貌、结构组成等表征结果,本研究总结得到Si@ECS
核壳纳米线的气液固(VLS)三相生长机制,即金膜经高温淬火得到小纳米颗
粒,硅原子在金粒的催化作用下析出并初步生长为纳米线,继而ErCl3沉积在Si
纳米线表面并在高温下经过重结晶过程生成Er(SiO)Cl化合物。在此基础上,
342
本研究系统研究了沉积时间、沉积距离、硅源-铒源物料比、沉积温度、气体流
量、金膜厚度等工艺参数对ECS纳米线形貌的影响。降低金膜厚度、降低沉积
温度与沉积距离、减小气体流量、以及适当提高Er3+源摩尔比与纳米线沉积时
间,可制得低表面粗糙度、粗直径的ECS纳米线结构,其优化直径为78nm。
基于制备的Si@ECS纳米线结构,进行了系统的荧光和随机激光性能研究。
在980nm脉冲光泵浦下,Si@ECS纳米线在521nm、540nm和656nm纳米处
3+3+3+24
表现出归属于Er的特征峰,这分别归因于Er→Er自敏化的H11/2→I15/2、
4444
S3/2→I15/2和F9/2→I15/2的辐射跃迁行为,证明该材料支持较大反斯托克斯
位移(anti-Stokesshift)的宽带可见光区上转换荧光辐射。进而,本课题以其为
光增益介质,研究了它的多色随机激光特性。高分辨率光谱、阈值、以及变面
积和角度光谱表征结果证实该Si@ECS纳米线样品经多次光反射形成了闭环路
径,从而该纳米线基谐振腔结构支持红光、绿光波段的相干随机激光行为。其
中,发射光谱高度依赖于观测角和激发面积,并且存在明显的I-P曲线拐点,即
在521nm及540nm两处绿光发射峰波段内的随机激光阈值分别为6.16mJcm-
2和5.81mJcm-2,在630nm-680nm红光波段内的随机激光阈值为5.70mJcm-
22
。该宽带随机激光行为表明Si@ECS纳米线具备足够的光增益,特别是在H11/2
4
和S3/2两个热耦合能级处,这种高光增益材料在光学传感和生物领域拥有潜在
的应用前景。
关键词:化学气相沉积法;上转换发光;铒氯硅酸盐纳米线;随机激光
Abstract
Withtherapiddevelopmentofinformationtechnology,theeraofIoE(Internetof
Everything)ha
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