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厂务设施中央监控系统设计指引--第1页

FacilityMonitoringandControlSystem

DesignGuide

厂务设施中央监控系统设计指引

技术手册

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高科技项目仪电组

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目录

1.0系統簡介.

1.1系統用途

1.2主要設備

1.3控制功能

2.0設計準則.

3.0設計步驟及注意事項.

3.1建立廠務監控系統架構圖

3.2依設備需求製作控制系統之I/OLIST9

3.3繪製各系統設備之控制流程(概念)圖10

3.4選擇相關軟體

3.5控制器與儀器平面配置圖

3.6廠務監控系統規範書

3.7儀器規範書

3.8完成廠務監控系統圖面設計與規範12

3.9圖面設計與規範書之校核、審定與核准12

3.10圖面設計與規範書確認

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1.0系统简介

1.1系统用途

半导体电子厂厂务系统之中央监控系统，是提供半导体电子厂房洁净

的工作环境及稳定与安全的Utility供应系统，使工厂生产线运作顺

利，维持高良率。

负责供应半导体电子厂之洁净的厂房环境维护及制程上所需之各系统

之厂务公用设施，称为“厂务系统”，每个厂务系统大都会有自己独立

之监控系统(统称为SCADA，SupervisoryControlAndDataAcquisition

System)例如MepSCADA、CleanRoomSCADA、PowerSCADA、

WWTSCADA、DIWSCADA….等。中央监控系统(FMCS)，简单的说

是将许多不同系统性质之监控子系统(SCADA)，进行信息之整合，进

而形成一个单一且功能强大的全厂厂务管理系统，成为有效的管理信

息，做为厂务系统操作者与管理阶层的有效工具。

1.2主要设备

厂务监控系统，主要之设备如下：

1.控制器

‧PLC(ProgramLogicController)可程控器

‧DDC(DirectDigitalController)直接数字控制器

‧SLC(SingleLoopController)单回路控制器

‧DCS(DistributionControlSystem)分布式控制系统

目前半导体电子厂之FMCS架构大都以PLC或空调用DDC

为Base较多。

2.监控平台﹕

人机界面