溶胶凝胶法制备(Ga1-xInx)2O3薄膜及其光电特性研究.docxVIP

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溶胶凝胶法制备(Ga1-xInx)2O3薄膜及其光电特性研究

溶胶凝胶法制备（Ga1-xInx）2O3薄膜及其光电特性研究

一、引言

随着科技的发展，薄膜材料在光电子器件、太阳能电池、传感器等领域的应用越来越广泛。其中，（Ga1-xInx）2O3薄膜因其独特的物理和化学性质，如高透明度、良好的导电性和优异的光电性能，受到了广泛关注。本文采用溶胶凝胶法，对（Ga1-xInx）2O3薄膜的制备工艺及其光电特性进行了深入研究。

二、溶胶凝胶法制备（Ga1-xInx）2O3薄膜

1.材料选择与准备

制备（Ga1-xInx）2O3薄膜所需的主要原料为高纯度的镓（Ga）和铟（In）氧化物。此外，还需准备

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